钽基欧姆接触
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106463405B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201480078849.9

    申请日:2014-06-11

    IPC分类号: H01L21/335 H01L29/78

    摘要: 一种形成欧姆接触的方法,包括:在阻挡层的接触区形成Ta层;在第一Ta层上形成Ti层;和在Ti层上形成Al层;其中所述阻挡层包括AlGaN,其具有10%至40%的Al成分和至之间范围内的厚度;以及所述阻挡层在包含GaN的沟道层上。

    具有环栅式阴极的纳米真空间隙器件

    公开(公告)号:CN107258008B

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201680011807.2

    申请日:2016-04-13

    IPC分类号: H01J19/24 H01J21/10 H01J9/02

    摘要: 一种半导体功率处理器件,包括阴极柱、围绕阴极柱的栅极、以及与阴极柱间隔一纳米真空间隙的阳极。一种半导体功率处理器件阵列,每个器件包括阴极柱、围绕阴极柱的栅极、以及与阴极柱间隔一纳米真空间隙的阳极。多个半导体功率处理器件可以按行和列排列,并且可以互相连接以满足不同应用的需求。该半导体功率处理器件阵列可以在单一块衬底上制造。

    具有钝化的三价氮化物层的半导体结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN106463526B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201580022667.4

    申请日:2015-04-22

    发明人: 储荣明 陈旭

    IPC分类号: H01L29/66 H01L21/318

    摘要: 一种半导体结构,包括三价氮化物材料的层,所述层的至少一部分被钝化层覆盖,其中该钝化层包括在所述三价氮化物材料层的所述至少一部分上形成的第一SiN层和在所述第一SiN层上形成的第二SiN层;该第一SiN层具有第一厚度并在该结构中产生拉伸应力,该第二SiN层具有第二厚度并在该结构中产生压缩应力。

    具有钝化的三价氮化物层的半导体结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN106463526A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580022667.4

    申请日:2015-04-22

    发明人: 储荣明 陈旭

    IPC分类号: H01L29/66 H01L21/318

    摘要: 一种半导体结构,包括三价氮化物材料的层,所述层的至少一部分被钝化层覆盖,其中该钝化层包括在所述三价氮化物材料层的所述至少一部分上形成的第一SiN层和在所述第一SiN层上形成的第二SiN层;该第一SiN层具有第一厚度并在该结构中产生拉伸应力,该第二SiN层具有第二厚度并在该结构中产生压缩应力。

    钽基欧姆接触
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106463405A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201480078849.9

    申请日:2014-06-11

    IPC分类号: H01L21/335 H01L29/78

    摘要: 一种形成欧姆接触的方法,包括:在阻挡层的接触区形成Ta层;在第一Ta层上形成Ti层;和在Ti层上形成Al层;其中所述阻挡层包括AlGaN,其具有10%至40%的Al成分和 至 之间范围内的厚度;以及所述阻挡层在包含GaN的沟道层上。

    编码孔径雷达(CAR)信号的处理方法及装置

    公开(公告)号:CN105874351A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201480071127.0

    申请日:2014-12-04

    IPC分类号: G01S13/90 G01S7/28

    摘要: 一种雷达系统,其对所接收的雷达信号使用编码孔径雷达处理,该雷达信号是由视场中的一个或多个物体反射出,该视场反射了通过K次扫描、每次扫描包括Q个频率阶跃的覆盖视场的发射信号。对于II型CAR,发射信号还包括每频率阶跃对应N个调制码。所接收的雷达信号由多个二进制调制器调制,其结果被用于一混合器。对于在一组Q·K(用于I型CAR)或Q·K·N(用于II型CAR)的复数据样本中的采集结果,混合器的输出分布于多个数字通道,每个数字通道对应一个期望的波束方向。对于每个通道,复数字样本按一个样本接一个样本地与一复信号掩码相乘,各通道的复信号掩码不同。

    蓝宝石上氮化镓单片集成功率变换器

    公开(公告)号:CN107615491B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201680029172.9

    申请日:2016-02-26

    摘要: 一种半桥电路,包括:蓝宝石基底;氮化镓上开关,其位于所述蓝宝石基底上;氮化镓下开关,其位于所述蓝宝石基底上并耦接所述氮化镓上开关;第一导体,其耦接所述上开关;第二导体,其耦接所述下开关;和一电容器。第一导体的一部分和第二导体的一部分位于一平面上,所述平面与所述上开关和所述下开关垂直并分离一高度;所述电容器连接于第一导体的所述部分与第二导体的所述部分之间。

    具有射频扼流圈的有源环流器

    公开(公告)号:CN107078722B

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201480082926.8

    申请日:2014-11-26

    IPC分类号: H03H11/36

    摘要: 一种多端口有源环流器,其中多个FET晶体管的每一个具有(i)控制电极,经由多个第一射频扼流圈中的一个相关联扼流圈的一个电容连接到环流器的一个相关联的端口,每个第一射频扼流圈连接到多个晶体管中的一个相关联晶体管的一个控制电极、相关联的晶体管的相关联端口和第一电源;(ii)一个源极,连接到一个公共点;以及(iii)一个漏极,通过一个反馈电路连接到同一晶体管的栅极,并通过第二射频扼流圈中的一个射频扼流圈的一个电容连接到一个相邻晶体管的栅极,每个第二射频扼流圈经由其中的电容耦合相邻晶体管的栅极和漏极,且每个第二射频扼流圈连接到第二电源连接。