公开(公告)号：CN101657388A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880011733.8

申请日：2008-04-08

Applicant: 三星钻石工业股份有限公司 ,  THK英特克斯股份有限公司

Inventor： 前川和哉 ,  宍户善明

IPC: C03B33/023 ,  B28D5/00

CPC classification number: C03B33/10 ,  B28D1/225 ,  C03B33/033 ,  C03B33/107

Abstract: 本发明提供一种不会对硬质的玻璃基板等脆性材料基板(W)造成损伤，且能够形成深的垂直裂缝的新型划线装置及划线方法。本发明的划线装置具备：划线轮(34)，其中，共有旋转轴(60)的两个圆锥的底部相交而形成圆周棱线(62)，沿该圆周棱线(62)在圆周方向交替地形成多个切口(64)及突起(65)，突起(65)由切下圆周棱线(62)而剩余的在圆周方向上具有长度的圆周棱线(62)的部分构成，切口(64)的圆周方向的长度(a)比突起(65)的圆周方向的长度(b)短；划线头(24)，其具有使划线轮(34)在相对于所述脆性材料基板(W)的表面交叉的方向上振动的振动致动器(35)；移动机构(25)，其使划线头(24)沿脆性材料基板(W)的表面移动。

公开(公告)号：CN101657388B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200880011733.8

申请日：2008-04-08

Applicant: 三星钻石工业股份有限公司 ,  THK英特克斯股份有限公司

Inventor： 前川和哉 ,  宍户善明

IPC: C03B33/023 ,  B28D5/00

CPC classification number: C03B33/10 ,  B28D1/225 ,  C03B33/033 ,  C03B33/107

Abstract: 本发明提供一种不会对硬质的玻璃基板等脆性材料基板(W)造成损伤，且能够形成深的垂直裂缝的新型划线装置及划线方法。本发明的划线装置具备：划线轮(34)，其中，共有旋转轴(60)的两个圆锥的底部相交而形成圆周棱线(62)，沿该圆周棱线(62)在圆周方向交替地形成多个切口(64)及突起(65)，突起(65)由切下圆周棱线(62)而剩余的在圆周方向上具有长度的圆周棱线(62)的部分构成，切口(64)的圆周方向的长度(a)比突起(65)的圆周方向的长度(b)短；划线头(24)，其具有使划线轮(34)在相对于所述脆性材料基板(W)的表面交叉的方向上振动的振动致动器(35)；移动机构(25)，其使划线头(24)沿脆性材料基板(W)的表面移动。

公开(公告)号：CN101146657B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200680009613.5

申请日：2006-03-20

Applicant: THK英特克斯股份有限公司 ,  THK株式会社

Inventor： 星野京延 ,  三户雅德 ,  羽生明夫 ,  河野贵哉 ,  宍户善明 ,  女柳信义 ,  冈英夫

IPC: B28D5/00 ,  C03B33/027

CPC classification number: C03B33/027

Abstract: 本发明提供一种划线装置，在工件上刻上划线的划线装置中，将粗动机构和微动机构巧妙地配合，从而能够在零点位置准确地停止刀具。本发明的划线装置具备：可平行于工件表面移动的基座(3)；相对于基座(3)上升下降的移动台(4)；在下端设置用于在工件上刻上划线的刀具(2)、且与移动台(4)一起上升下降的头部(6)；引导移动台(4)上升下降的第一直动导轨(8)、(9)；引导头部(6)上升下降的第二直动导轨(8)、(10)。而且，在移动台(4)及头部(6)的下降中，即使刀具(2)接触工件(1)而使头部(6)的下降停止，也能够容许移动台(4)稍微下降。

公开(公告)号：CN101562127B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN200910132710.9

申请日：2009-04-14

Applicant: THK株式会社 ,  THK英特克斯股份有限公司

Inventor： 星野京延 ,  三户雅德 ,  羽生明夫 ,  河野贵哉 ,  宍户善明

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/301 ,  B28D5/00

Abstract: 本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备：轴部件(1)，其具有磁铁(5)；电枢(2)，其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8)；划线工具(4)，其设置于轴部件(1)的前端，用于在薄板状的工件(W)上刻上划线；移动机构(21)，其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流，由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时，进一步在电枢(2)的线圈中流过电流，由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下，从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。