公开(公告)号：CN107850503B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201680044204.2

申请日：2016-07-21

Applicant: 三力管理株式会社 ,  第一精工株式会社

Inventor： 冈田和广 ,  江良聪 ,  长本展博 ,  上宇都敬仁 ,  秋叶一人

IPC: G01L3/14 ,  G01L3/10

CPC classification number: G01L3/10 ,  G01L1/14 ,  G01L1/2231 ,  G01L3/106 ,  G01L3/14 ,  G01L3/1428 ,  G01L3/1435 ,  G01L3/1442 ,  G01L5/16 ,  G01L5/165

Abstract: 将Z轴作为中心轴线，按照从内侧向外侧的顺序配置有内侧支承体(110)、检测用变形体(120)和环状的外侧支承体(130)。检测用变形体(120)的内侧支承点(P1、P2)近旁的内侧面利用内侧连接构件(141、142)与内侧支承体(110)的外侧面相连接，检测用变形体(120)的外侧支承点(Q1、Q2)近旁的外侧面利用外侧连接构件(151、152)与外侧支承体(130)的内侧面相连接。当在固定了内侧支承体(110)的状态下顺时针方向的力矩作用于外侧支承体(130)时，检测部(121、123)向外侧位移，检测部(122、124)向内侧位移。对这些构件的位移进行电检测，来作为由对置电极(E11‑F11、E12‑F12、E13‑F13、E14‑F14)构成的4组电容元件的静电电容值的变化。

公开(公告)号：CN107850503A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680044204.2

申请日：2016-07-21

Applicant: 三力管理株式会社 ,  第一精工株式会社

Inventor： 冈田和广 ,  江良聪 ,  长本展博 ,  上宇都敬仁 ,  秋叶一人

IPC: G01L3/14 ,  G01L3/10

CPC classification number: G01L3/10 ,  G01L1/14 ,  G01L1/2231 ,  G01L3/106 ,  G01L3/14 ,  G01L3/1428 ,  G01L3/1435 ,  G01L3/1442 ,  G01L5/16 ,  G01L5/165

Abstract: 将Z轴作为中心轴线，按照从内侧向外侧的顺序配置有内侧支承体(110)、检测用变形体(120)和环状的外侧支承体(130)。检测用变形体(120)的内侧支承点(P1、P2)近旁的内侧面利用内侧连接构件(141、142)与内侧支承体(110)的外侧面相连接，检测用变形体(120)的外侧支承点(Q1、Q2)近旁的外侧面利用外侧连接构件(151、152)与外侧支承体(130)的内侧面相连接。当在固定了内侧支承体(110)的状态下顺时针方向的力矩作用于外侧支承体(130)时，检测部(121、123)向外侧位移，检测部(122、124)向内侧位移。对这些构件的位移进行电检测，来作为由对置电极(E11-F11、E12-F12、E13-F13、E14-F14)构成的4组电容元件的静电电容值的变化。

公开(公告)号：CN107615131A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680033019.3

申请日：2016-06-07

Applicant: 第一精工株式会社

Inventor： 冈田和广 ,  江良聪 ,  坂本真弥 ,  池田義文 ,  黑木省吾 ,  绪方健治

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

Abstract: 利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来，板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12)，在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样，在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32)，在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号，对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时，镜体部(160)有效地产生位移。

公开(公告)号：CN107615131B

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201680033019.3

申请日：2016-06-07

Applicant: 第一精工株式会社

Inventor： 冈田和广 ,  江良聪 ,  坂本真弥 ,  池田義文 ,  黑木省吾 ,  绪方健治

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

Abstract: 利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来，板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12)，在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样，在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32)，在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号，对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时，镜体部(160)有效地产生位移。

公开(公告)号：CN107636512B

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201680034196.3

申请日：2016-06-06

Applicant: 第一精工株式会社

Inventor： 绪方健治 ,  坂本真弥 ,  池田义文 ,  黑木省吾 ,  冈田和广 ,  江良聪

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧，利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧，利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。

公开(公告)号：CN107636512A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680034196.3

申请日：2016-06-06

Applicant: 第一精工株式会社

Inventor： 绪方健治 ,  坂本真弥 ,  池田义文 ,  黑木省吾 ,  冈田和广 ,  江良聪

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧，利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧，利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。