-
公开(公告)号：CN103904005A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310364896.7
申请日：2013-08-20
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： B23K26/70 , B23K26/032 , B23K26/0823 , B23K26/083 , B23K26/0876 , B23K26/123 , B23K26/361 , B23K31/10 , B23K2103/30 , B23K2103/50 , G09G3/006 , G09G3/3208 , H01L21/67069 , H01L21/76894 , H01L22/12 , H01L51/56
摘要： 本发明公开了测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底处理装置，该多功能装置可通过在同一腔体执行测试和刻蚀操作而提高空间效率和制造效率。该多功能装置包括：在一侧具有入口、另一侧具有出口的腔体，衬底通过入口被输入腔体并通过出口从腔体输出；传送单元，设置于腔体内，被配置为在从入口到出口的方向传送输入的衬底；激光刻蚀单元，设置于传送单元上方，被配置为刻蚀设置于传送单元上的衬底的一部分；以及测试单元，配置为测试设置于传送单元上的衬底。
-
公开(公告)号：CN104134760B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201410078844.8
申请日：2014-03-05
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/677 , H01L27/32
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/50 , C23C14/546 , C23C14/568 , H01L51/52
摘要： 本申请涉及一种能够实时检查形成的薄层的厚度或均匀性的沉积装置，使用该沉积装置制造有机发光显示装置的方法和使用该方法制造的有机发光显示装置。该沉积装置包括可拆卸地固定有基底的移动单元。传送单元在第一方向或者第一方向的相反方向传送移动单元。沉积单元包括至少一个用于在基底上沉积沉积材料的沉积组件。排放数据获取单元获取与从至少一个沉积组件每单位时间排放的沉积材料的量相关联的数据。发送单元发送由排放数据获取单元获取的数据。
-
公开(公告)号：CN103904005B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201310364896.7
申请日：2013-08-20
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： B23K26/70 , B23K26/032 , B23K26/0823 , B23K26/083 , B23K26/0876 , B23K26/123 , B23K26/361 , B23K31/10 , B23K2103/30 , B23K2103/50 , G09G3/006 , G09G3/3208 , H01L21/67069 , H01L21/76894 , H01L22/12 , H01L51/56
摘要： 公开了测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底处理装置，该多功能装置可通过在同一腔体执行测试和刻蚀操作而提高空间效率和制造效率。该多功能装置包括：在一侧具有入口、另一侧具有出口的腔体，衬底通过入口被输入腔体并通过出口从腔体输出；传送单元，设置于腔体内，被配置为在从入口到出口的方向传送输入的衬底；激光刻蚀单元，设置于传送单元上方，被配置为刻蚀设置于传送单元上的衬底的一部分；以及测试单元，配置为测试设置于传送单元上的衬底。
-
公开(公告)号：CN104134760A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410078844.8
申请日：2014-03-05
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/677 , H01L27/32
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/50 , C23C14/546 , C23C14/568 , H01L51/52
摘要： 本申请涉及一种能够实时检查形成的薄层的厚度或均匀性的沉积装置，使用该沉积装置制造有机发光显示装置的方法和使用该方法制造的有机发光显示装置。该沉积装置包括可拆卸地固定有基底的移动单元。传送单元在第一方向或者第一方向的相反方向传送移动单元。沉积单元包括至少一个用于在基底上沉积沉积材料的沉积组件。排放数据获取单元获取与从至少一个沉积组件每单位时间排放的沉积材料的量相关联的数据。发送单元发送由排放数据获取单元获取的数据。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.021 秒)
