掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法

    公开(公告)号:CN101826475B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201010107033.8

    申请日:2010-01-29

    发明人: 赵赞衡 闵卿旭

    CPC分类号: G03F1/84 H01L51/0011

    摘要: 本发明涉及一种掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法。掩模检查装置用于检查以期望图案进行沉积中所用到的具有多个开口的掩模,能够通过掩模的开口检查掩模的缺陷。掩模检查装置包括:检测单元,检测掩模的开口中的每一个的边界线;存储单元,存储待被利用掩模执行沉积的部件的信息;设置单元,利用所存储的待被执行沉积的部件的信息为开口中的每一个设置第一边界线、第二边界线和安全区域,其中第一边界线形成沉积区域的轮廓,第二边界线包围第一边界线,安全区域插入在第一边界线与第二边界线之间;以及控制单元,确定被检测单元检测的掩模的边界线是否不接触第一边界线和第二边界线以及边界线是否在安全区域中。

    掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法

    公开(公告)号:CN104483811B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201410584702.9

    申请日:2010-01-29

    发明人: 赵赞衡 闵卿旭

    IPC分类号: G03F1/84 H01L51/56

    CPC分类号: G03F1/84 H01L51/0011

    摘要: 本发明涉及一种掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法。掩模检查装置用于检查以期望图案进行沉积中所用到的具有多个开口的掩模,能够通过掩模的开口检查掩模的缺陷。掩模检查装置包括:检测单元,检测掩模的开口中的每一个的边界线;存储单元,存储待被利用掩模执行沉积的部件的信息;设置单元,利用所存储的待被执行沉积的部件的信息为开口中的每一个设置第一边界线、第二边界线和安全区域,其中第一边界线形成沉积区域的轮廓,第二边界线包围第一边界线,安全区域插入在第一边界线与第二边界线之间;以及控制单元,确定被检测单元检测的掩模的边界线是否不接触第一边界线和第二边界线以及边界线是否在安全区域中。

    用于印刷机的喷嘴单元及具有该喷嘴单元的印刷机

    公开(公告)号:CN103935126A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201310364876.X

    申请日:2013-08-20

    发明人: 闵卿旭

    IPC分类号: B41J2/14

    CPC分类号: B41J2/14 B41J2002/041

    摘要: 本发明提供了一种用于印刷机的喷嘴单元,其包括套筒、喷嘴孔座和喷嘴支撑部件,其中套筒具有形成在套筒中的导向通道,油墨通过该导向通道,喷嘴孔座布置在套筒的一端并具有与导向通道相对应的喷嘴孔,喷嘴支撑部件容纳套筒和喷嘴孔座,并具有直径大于喷嘴孔座的喷嘴孔的直径的开口,从而使经过喷嘴孔的油墨可通过开口向外排出,喷嘴支撑部件还包括顺磁材料。

    掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法

    公开(公告)号:CN104483811A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201410584702.9

    申请日:2010-01-29

    发明人: 赵赞衡 闵卿旭

    IPC分类号: G03F1/84 H01L51/56

    摘要: 本发明涉及一种掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法。掩模检查装置用于检查以期望图案进行沉积中所用到的具有多个开口的掩模,能够通过掩模的开口检查掩模的缺陷。掩模检查装置包括:检测单元,检测掩模的开口中的每一个的边界线;存储单元,存储待被利用掩模执行沉积的部件的信息;设置单元,利用所存储的待被执行沉积的部件的信息为开口中的每一个设置第一边界线、第二边界线和安全区域,其中第一边界线形成沉积区域的轮廓,第二边界线包围第一边界线,安全区域插入在第一边界线与第二边界线之间;以及控制单元,确定被检测单元检测的掩模的边界线是否不接触第一边界线和第二边界线以及边界线是否在安全区域中。