公开(公告)号：CN117590699A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310907578.4

申请日：2023-07-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 梁原浚 ,  尹详皓 ,  郑宇陈 ,  姜旼秀

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 提供了一种重叠测量方法，包括：设置基底上的重叠偏移，通过照射电子束获得单元图像，以及基于单元图像获得上图案的第一图像和下图案的第二图像，将第一图像与第二图像合并，测量合并图像的重叠，以及校正用于测量重叠的测量参数，以提高所述重叠偏移与所述重叠的测量结果值之间的一致性，其中，测量参数基于所述重叠的结果值中的被分类为测量失败的测量失败值的数量而被校正。

公开(公告)号：CN117350937A

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202310763496.7

申请日：2023-06-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜旼秀 ,  金壮勋 ,  郑宇陈

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/13 ,  G06T5/40

Abstract: 一种图像处理系统，包括：输入接口，其被配置为接收第一方向图像和第二方向图像，第一方向图像对应于半导体装置的在第一方向上的视图，第二方向图像对应于半导体装置的在产生第一方向图像的第一高度处与第一方向交叉的第二方向上的视图；处理器，其被配置为执行基于第一方向图像检测边缘的边缘检测操作，并且对第一方向图像执行图像二值化操作；以及学习装置，其被配置为通过机器学习比较基于图像二值化操作获得的第一线宽与基于第二方向图像获得的第二线宽，并且学习使第一线宽和第二线宽之间的相关性最大化的图像二值化操作的条件。还提供了一种图像处理方法。

公开(公告)号：CN118412293A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202410092266.7

申请日：2024-01-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李旻洙 ,  姜旼秀 ,  尹详皓 ,  黄灿

IPC: H01L21/66 ,  H01L23/544

Abstract: 提供了检测图案重叠的方法和使用其形成图案的方法。该检测图案重叠的方法包括在衬底上形成下图案和上图案。绘制与下图案有公切线的样本图案。使用公切线计算下图案的真实重心的位置。