公开(公告)号：CN101997091A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010262640.1

申请日：2010-08-24

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金钟宪 ,  朴铉淑 ,  柳在光 ,  康熙哲 ,  吴枝淑

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备、一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种使用该方法制造的有机发光显示装置。薄膜沉积设备包括薄膜沉积组件，所述薄膜沉积组件包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置，并且包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，包括多个障碍板，多个障碍板沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间并且将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间，其中，每个障碍板与图案化缝隙片分开。

公开(公告)号：CN101997090A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010248429.4

申请日：2010-08-05

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 吴枝淑 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  曹昌睦

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。障碍板组件包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。

公开(公告)号：CN101997092A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010263417.9

申请日：2010-08-25

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 柳在光 ,  朴铉淑 ,  李润美 ,  金钟宪 ,  金相洙 ,  吴枝淑

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法。提供了一种可以应用于大规模制造大尺寸显示装置并改善了生产率的薄膜沉积设备和通过利用该薄膜沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。所述方法包括如下步骤：将基底布置为与薄膜沉积设备分开预定距离；在薄膜沉积设备或基底相对于彼此移动的同时将从薄膜沉积设备排放的沉积材料沉积在基底上。