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公开(公告)号：CN102195007A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110064882.4
申请日：2011-03-11
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/52 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/54 , C23C14/568 , C23C16/042 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。
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公开(公告)号：CN102332539A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110199594.X
申请日：2011-07-12
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L51/56
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/54 , C23C14/56 , H01L51/56
Abstract: 一种薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法，所述薄膜沉积设备可以在沉积工艺期间与基板精确对准。所述设备包括：沉积源；沉积源喷嘴单元，包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴；以及图案化狭缝片，具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案化狭缝，其中在所述基板相对于所述薄膜沉积设备在所述第一方向上移动时执行沉积，所述图案化狭缝片具有彼此隔开的第一对准标记和第二对准标记，所述基板具有彼此隔开的第一对准图案和第二对准图案，所述薄膜沉积设备进一步包括用于给所述第一对准标记和所述第一对准图案照相的第一照相机组件，和用于给所述第二对准标记和所述第二对准图案照相的第二照相机组件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102127748A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110029291.3
申请日：2011-01-11
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/04 , C23C16/455 , C23C16/52
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001
Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。
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公开(公告)号：CN102195007B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201110064882.4
申请日：2011-03-11
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/52 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/54 , C23C14/568 , C23C16/042 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。
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公开(公告)号：CN102094167A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010589194.5
申请日：2010-12-10
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B23K26/402 , B23K26/032 , B23K26/066 , B23K26/0661 , B23K26/702 , B23K2103/50 , H01L51/0011
Abstract: 本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。
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公开(公告)号：CN101997090A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010248429.4
申请日：2010-08-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。障碍板组件包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。
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公开(公告)号：CN102169967A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110021753.7
申请日：2011-01-14
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法。薄膜沉积设备包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧处，并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为与沉积源喷嘴单元相对，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板，其中，所述薄膜沉积设备与基底分开预定的距离，所述薄膜沉积设备和基底能够相对于彼此移动。
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