公开(公告)号：CN102195007B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201110064882.4

申请日：2011-03-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪钟元 ,  张锡洛 ,  曹昌睦 ,  崔永默 ,  柳在光

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243 ,  C23C14/54 ,  C23C14/568 ,  C23C16/042 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。

公开(公告)号：CN101997091A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010262640.1

申请日：2010-08-24

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金钟宪 ,  朴铉淑 ,  柳在光 ,  康熙哲 ,  吴枝淑

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备、一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种使用该方法制造的有机发光显示装置。薄膜沉积设备包括薄膜沉积组件，所述薄膜沉积组件包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置，并且包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，包括多个障碍板，多个障碍板沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间并且将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间，其中，每个障碍板与图案化缝隙片分开。

公开(公告)号：CN102332539A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110199594.X

申请日：2011-07-12

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 柳在光 ,  曹昌睦 ,  康熙哲

IPC: H01L51/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56 ,  H01L51/56

Abstract: 一种薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法，所述薄膜沉积设备可以在沉积工艺期间与基板精确对准。所述设备包括：沉积源；沉积源喷嘴单元，包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴；以及图案化狭缝片，具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案化狭缝，其中在所述基板相对于所述薄膜沉积设备在所述第一方向上移动时执行沉积，所述图案化狭缝片具有彼此隔开的第一对准标记和第二对准标记，所述基板具有彼此隔开的第一对准图案和第二对准图案，所述薄膜沉积设备进一步包括用于给所述第一对准标记和所述第一对准图案照相的第一照相机组件，和用于给所述第二对准标记和所述第二对准图案照相的第二照相机组件。

公开(公告)号：CN102127748A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201110029291.3

申请日：2011-01-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 朴铉淑 ,  曹昌睦 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  成沄澈 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  柳在光

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。

公开(公告)号：CN102195007A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110064882.4

申请日：2011-03-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪钟元 ,  张锡洛 ,  曹昌睦 ,  崔永默 ,  柳在光

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243 ,  C23C14/54 ,  C23C14/568 ,  C23C16/042 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。

公开(公告)号：CN101997092A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010263417.9

申请日：2010-08-25

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 柳在光 ,  朴铉淑 ,  李润美 ,  金钟宪 ,  金相洙 ,  吴枝淑

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法。提供了一种可以应用于大规模制造大尺寸显示装置并改善了生产率的薄膜沉积设备和通过利用该薄膜沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。所述方法包括如下步骤：将基底布置为与薄膜沉积设备分开预定距离；在薄膜沉积设备或基底相对于彼此移动的同时将从薄膜沉积设备排放的沉积材料沉积在基底上。