公开(公告)号：CN1800970B

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200510092324.3

申请日：2005-08-26

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金振圭 ,  韩尚辰 ,  康熙哲 ,  姜有珍

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种遮蔽掩模图案的形成方法，其在施加有拉力的状态下首先焊接在掩模框上，利用激光形成蒸镀图案，由此容易制作大面积的掩模，并且加工步骤及设备简单，能够缩短加工时间。本发明的遮蔽掩模图案的形成方法在由对掩模框施加有拉力的状态下固定的固定部和形成有图案的透过区域构成的遮蔽掩模上形成图案，其特征在于，包括：一边在所述遮蔽掩模上施加与所述拉力对应的张力一边固定所述遮蔽掩模的步骤；在已固定的遮蔽掩模的透过区域选定图案形成开始位置的步骤；从所述图案形成开始位置沿螺旋方向的形成路径形成所述图案的步骤。

公开(公告)号：CN100523272C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200610000428.1

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金振圭 ,  韩尚辰 ,  康熙哲 ,  姜有珍 ,  金泰亨

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C14/042 ,  H01L51/0011 ,  Y10T29/49867

Abstract: 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。