公开(公告)号：CN100578355C

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200510123341.9

申请日：2005-11-23

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金义圭 ,  金泰亨

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/16

CPC classification number: C23C14/042

Abstract: 本发明公开了一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模以及制造该掩模的方法。掩模的实施例能够提高定位的精度，并且通过利用缓冲构件连接加固构件和布置在加固构件的开口上的掩模图案单元来防止由掩模的热膨胀引起的问题。掩模包括：加固构件，包括多个第一开口；掩模图案单元，与加固构件的第一开口对应布置，并由加固构件支撑；缓冲构件，包括与加固构件的第一开口对应的多个第二开口，并且连接加固构件和掩模图案单元，以支撑加固构件和掩模图案单元。

公开(公告)号：CN100523272C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200610000428.1

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金振圭 ,  韩尚辰 ,  康熙哲 ,  姜有珍 ,  金泰亨

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C14/042 ,  H01L51/0011 ,  Y10T29/49867

Abstract: 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。

公开(公告)号：CN1776524B

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200510123311.8

申请日：2005-11-17

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金义圭 ,  金泰亨

IPC: G03F1/00 ,  B08B3/08 ,  B08B3/12

CPC classification number: B08B7/0042 ,  B08B3/04 ,  B08B3/08 ,  B08B3/12 ,  B08B2209/005 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供了一种快速并有效地去除附于掩模的材料的对掩模除垢的方法。该方法包括：将激光束直射到附于掩模的材料上；去除附于掩模的材料。