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公开(公告)号：CN102102175A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010601144.4
申请日：2010-12-17
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C16/4485 , C23C14/243 , C23C14/26
Abstract: 本发明公开了一种线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备。在一个实施例中，线性蒸发源包括：i)熔罐，在其一侧是敞开的，且熔罐被构造为储存沉积材料；ii)多个分隔件，将熔罐的内部空间隔开，其中，每个分隔件在下部中具有至少一个开口。该源还包括：i)喷嘴部分，位于熔罐的敞开侧上并包括多个喷嘴；ii)加热器，构造为加热熔罐；iii)壳体，构造为容纳熔罐、喷嘴部分和加热器。
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公开(公告)号：CN100487155C
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200610000430.9
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: G03F9/7038 , G03F7/70791 , G03F9/7088
Abstract: 一种用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法，其中该装置包括：在基板和罩板的未使用部分中的对准标记，用于在基板与罩板对准时确定对准标记重叠的传感单元，以及用于根据由传感单元所测量和确定的数据而控制对准过程重复进行的控制单元。传感单元可以包括：位于拍摄范围之内以确定对准标记的任何对准误差的照相机。根据本发明的另一实施例，测量基板和罩板间的对准误差来确定该对准误差是否可以接受。当该对准误差不可接受时，重复进行对准基板和罩板的操作，直至对准误差可以接受为止。
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公开(公告)号：CN100523272C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200610000428.1
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C16/04 , H01L21/203 , H01L21/205
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011 , Y10T29/49867
Abstract: 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。
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公开(公告)号：CN1789484B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200510108161.3
申请日：2005-10-09
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明涉及串列形式的薄膜蒸镀系统，提供一种通过固定并支持基片而实现垂直蒸镀、并移送中使微细粒子的影响最小而可以充分确保掩模板平面度的校正系统、垂直型盘移送装置和具有该装置的蒸镀装置。本发明的解决手段为包含：垂直固定基片(10)的基片盘(100)；为了与所述基片盘(100)相校正而垂直固定掩模板(30)的掩模盘(300)；通过联接部联接所述基片盘(100)和掩模盘(300)的校正平板(500)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1800443B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200510117051.3
申请日：2005-10-31
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L21/68728 , H01L21/68735 , H01L21/68778 , Y10S414/136 , Y10S414/141 , Y10T29/53265
Abstract: 本发明提供一种基片固定盘，为了在真空工程用垂直基片固定盘的平板面上固定和支持所述基片，包含至少一部分以上基片固定单元，并且，通过固定和支持垂直布置的基片，可以进行高精度的校正和更加稳定的蒸镀工艺。基片固定盘(60)及利用该基片固定盘(60)的基片校正系统及其方法，包含被蒸镀蒸镀物的基片(10)、用于容纳所述基片(10)的框架(70)、用于容纳所述框架(70)而构成的盘(60)、用于在所述框架(70)上固定和支持所述基片(10)而构成的至少一个以上基片固定单元(110)。
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公开(公告)号：CN100554499C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200610000431.3
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：形成的带有连接孔的垂直定位的托盘，以及具有连接臂以与这些连接孔连接并且防止托盘和托盘固定器弯曲的托盘固定器。该托盘包括能够容纳基板的基板框，并且该托盘固定器与驱动轴连接，以将垂直位置的托盘传送到用于汽相淀积的罩板。多个导引轴的一端可靠接触托盘固定器的后侧，以防止该托盘固定器弯曲。该托盘可以具有磁连接部件，并且该托盘固定器可以具有对应于这些连接部件的支撑部件。这些支撑部件能够在由相应凹槽或突起决定的位置与连接部件磁连接，以对准托盘和托盘固定器。
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公开(公告)号：CN1800443B9
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200510117051.3
申请日：2005-10-31
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明提供一种基片固定盘，为了在真空工程用垂直基片固定盘的平板面上固定和支持所述基片，包含至少一部分以上基片固定单元，并且，通过固定和支持垂直布置的基片，可以进行高精度的校正和更加稳定的蒸镀工艺。基片固定盘(60)及利用该基片固定盘(60)的基片校正系统及其方法，包含被蒸镀蒸镀物的基片(10)、用于容纳所述基片(10)的框架(70)、用于容纳所述框架(70)而构成的盘(60)、用于在所述框架(70)上固定和支持所述基片(10)而构成的至少一个以上基片固定单元(110)。
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公开(公告)号：CN1800970B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200510092324.3
申请日：2005-08-26
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种遮蔽掩模图案的形成方法，其在施加有拉力的状态下首先焊接在掩模框上，利用激光形成蒸镀图案，由此容易制作大面积的掩模，并且加工步骤及设备简单，能够缩短加工时间。本发明的遮蔽掩模图案的形成方法在由对掩模框施加有拉力的状态下固定的固定部和形成有图案的透过区域构成的遮蔽掩模上形成图案，其特征在于，包括：一边在所述遮蔽掩模上施加与所述拉力对应的张力一边固定所述遮蔽掩模的步骤；在已固定的遮蔽掩模的透过区域选定图案形成开始位置的步骤；从所述图案形成开始位置沿螺旋方向的形成路径形成所述图案的步骤。
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公开(公告)号：CN1952206B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200610140238.X
申请日：2006-10-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/541
Abstract: 本发明提供了一种用于沉积薄膜的设备和方法，该设备包括：处理室，具有膜形成部分和沉积防止部分，沉积防止部分在膜形成部分的周边；蒸发源，与处理室流动相通，用于容纳沉积材料；吸热板，形成在处理室的沉积防止部分中，其中，吸热板设置成围绕位于处理室的膜形成部分中的基底。
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