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公开(公告)号:CN119439627A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202410958943.9
申请日:2024-07-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: G03F7/16
Abstract: 公开一种形成图案的方法,所述方法包括:在基板上涂覆含金属的抗蚀剂组合物;进行包括干燥和加热的热处理以在基板上形成含金属的抗蚀剂层;使用经图案化的掩模对含金属的抗蚀剂层进行曝光;以及进行包括涂覆显影剂组合物以移除未曝光区的显影从而形成抗蚀剂图案,其中通过利用旋涂机以约100rpm到约1,500rpm的速度涂覆含金属的抗蚀剂组合物达约60秒到约120秒来实行对含金属的抗蚀剂组合物的涂覆,所述加热在约90℃到约200℃的温度下实行约30秒到约120秒,通过辐照极紫外光、波长为约5nm到约50nm的光、或所述极紫外光与所述光的组合来实行对含金属的抗蚀剂层的曝光。
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公开(公告)号:CN117148672A
公开(公告)日:2023-12-01
申请号:CN202310071780.8
申请日:2023-02-07
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明公开一种包含由化学式1表示的有机金属化合物和溶剂的半导体光刻胶组合物以及一种使用其形成图案的方法。化学式1的具体细节如说明书中所定义。[化学式1][R1L1SnO(R2L2C(=O)O)]6。
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公开(公告)号:CN115668056A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202180036970.5
申请日:2021-08-20
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明涉及一种半导体光致抗蚀剂组成物及使用所述半导体光致抗蚀剂组成物形成图案的方法。所述组成物包含溶剂及由化学式1表示的有机金属化合物。化学式1的具体细节如在说明书中所定义。
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公开(公告)号:CN107922737B
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN201680049027.7
申请日:2016-08-25
Abstract: 本发明提供:一种用于窗膜的组合物、由所述组合物形成的窗膜以及包括所述窗膜的可挠性显示器,用于窗膜的组合物含有包含以下化学式1的硅酮树脂、交联剂及引发剂。化学式1与具体实施方式中所定义的相同。<化学式1>(R1SiO3/2)x(SiO3/2‑Q‑SiO3/2)y(R2SiO3/2)z。
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公开(公告)号:CN108473703B
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201680079240.2
申请日:2016-10-07
Abstract: 本申请提供了一种化学式1的硅氧烷树脂,一种用于窗膜的组合物,该组合物含有交联剂和引发剂,一种由该组合物形成的柔性窗膜和一种包含该柔性窗膜的柔性显示装置。
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公开(公告)号:CN108541262A
公开(公告)日:2018-09-14
申请号:CN201680023668.5
申请日:2016-04-22
Abstract: 提供一种用于窗膜的组合物、一种由所述用于窗膜的组合物形成的可挠性窗膜以及一种包括所述可挠性窗膜的可挠性显示装置,所述用于窗膜的组合物包含:第一硅酮树脂,包含化学式1;第二硅酮树脂,含有可交联官能基以及Q单元及桥接单元中的一个或多个;交联剂;以及引发剂。 (R1SiO3/2)x([R2R3SiO2/2]n)y(R4R5SiO2/2)z(R6R7R8SiO1/2)w(其中R1为可交联官能基;R2与R3分别独立地为甲基;R4与R5分别独立地为氢、可交联官能基、未经取代或经取代的C1至C20烷基或者未经取代或经取代的C5至C20环烷基;R6、R7及R8分别独立地为氢、可交联官能基、未经取代或经取代的C1至C20烷基、未经取代或经取代的C5至C20环烷基或者未经取代或经取代的C6至C30芳基;n为7至100的整数;0
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公开(公告)号:CN108350272A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680066503.6
申请日:2016-09-06
Abstract: 提供一种包含结构式1的硅氧烷树脂、交联剂和引发剂的用于窗膜的组合物,由其形成的柔性窗膜以及包含所述柔性窗膜的柔性显示器。 (R1SiO3/2)x(R2SiO3/2)y(R3R4SiO2/2)z(SiO4/2)w(结构式1中,R1是含有脂环族环氧基团的官能团,R2是含有缩水甘油基的官能团,R3和R4各自独立地是氢,包含脂环族环氧基团的官能团,包含缩水甘油基的官能团,可选取代的C1-C20烷基,可选取代的C5-C20环烷基或可选取代的C6-C20芳基,其中0
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公开(公告)号:CN107849357A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201680044671.5
申请日:2016-07-22
CPC classification number: C09D183/06 , C08J5/18 , C08J7/047 , C08J2379/08 , C08J2483/06 , C08L79/08 , C08L83/04 , C09J7/29 , C09J2201/162 , C09J2203/318 , C09J2479/086 , C09J2483/006 , G02B1/14 , G06F3/041 , G06F2203/04102 , H01L27/323 , H01L27/3244 , H01L51/0097 , H01L51/5253 , H01L51/5281 , H01L2251/5338 , H01L2251/558
Abstract: 本发明提供:一种用于窗膜的组合物,含有包含化学式1的硅氧烷树脂、交联剂及引发剂;一种由所述组合物形成的可挠性窗膜;以及一种包括所述可挠性窗膜的可挠性显示装置。
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公开(公告)号:CN104953042A
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201510142313.5
申请日:2015-03-27
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0094 , C08F290/068 , C08G77/20 , C08G77/442 , C08G77/80 , C08L33/14 , C08L43/04 , C09D183/10 , H01L51/0043 , H01L51/5256 , C08F222/10
Abstract: 本发明公开一种用于封装有机发光二极管的组成物,其包含光可固化单体、含硅单体以及引发剂,其中含硅单体由式1表示。并且,本发明公开一种有机发光二极管显示器。所述组成物可以降低水蒸汽透过性并且减少可能在薄膜封装层的制造之后由等离子体引起的除气,同时实现具有低等离子体蚀刻率的有机阻挡层。
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