形成图案的方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119439627A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202410958943.9

    申请日:2024-07-17

    Abstract: 公开一种形成图案的方法,所述方法包括:在基板上涂覆含金属的抗蚀剂组合物;进行包括干燥和加热的热处理以在基板上形成含金属的抗蚀剂层;使用经图案化的掩模对含金属的抗蚀剂层进行曝光;以及进行包括涂覆显影剂组合物以移除未曝光区的显影从而形成抗蚀剂图案,其中通过利用旋涂机以约100rpm到约1,500rpm的速度涂覆含金属的抗蚀剂组合物达约60秒到约120秒来实行对含金属的抗蚀剂组合物的涂覆,所述加热在约90℃到约200℃的温度下实行约30秒到约120秒,通过辐照极紫外光、波长为约5nm到约50nm的光、或所述极紫外光与所述光的组合来实行对含金属的抗蚀剂层的曝光。

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