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公开(公告)号：CN101182627A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
申请人： 财团法人山形县产业技术振兴机构 , 三菱重工业株式会社 , 三菱日立制铁机械株式会社
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
摘要： 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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公开(公告)号：CN103518068A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201280019908.6
申请日：2012-12-20
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： F01D1/18 , B23P15/006 , C21D1/30 , C21D11/00 , C21D2261/00 , F04D29/023 , F04D29/281 , F05D2230/10 , F05D2230/40 , Y10T29/49764
摘要： 本发明提供一种机械部件的制造方法及具备通过该制造方法制造出的叶轮的旋转机械。该机械部件的制造方法具有推定任一机械加工工序之后的基体原料的中间形状的热处理后的强度的工序、将推定出的强度与最终形状所要求的基准强度进行比较的工序，通过该比较结果，在所述任一机械加工工序之后进行基体原料的热处理。
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公开(公告)号：CN101440471B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN200810178118.8
申请日：2008-11-19
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/568
摘要： 本发明公开一种线式膜形成装置，包括：淀积源、防淀积板和屏。淀积源存储不同膜形成材料，并且包括在垂直于传送方向的基板的宽度方向上延伸的开口。所述开口相互平行地分别设置在传送方向的上游侧和下游侧。所述防淀积板隔开与共淀积室相邻的淀积室，并且相互平行地设置在传送方向的上游侧和下游侧，限制来自开口的蒸汽的淀积区域。屏限制并且使来自开口的蒸汽在基板的淀积区域与通过板限定的淀积区域重合。因而，防止单成分模形成而只有混合膜形成在基板上。
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公开(公告)号：CN117203481A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202280025258.X
申请日：2022-02-14
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： F28D15/02
摘要： 本公开的冷却系统具备：制冷剂槽，其将用于从发热体除去热量的制冷剂收容于成为封闭空间的内部；多个热管，其以从制冷剂槽向该制冷剂槽的外侧延伸的方式排列有多个，并且在各自的内部形成有能够供作为工作流体的制冷剂移动的通路；以及送风风扇，其在制冷剂槽的外部对多个热管向这些热管的排列方向送风，各热管的与延伸方向正交的截面形状呈以送风方向为长度方向并且以该送风方向的上游侧为前缘、以下游侧为后缘的扁平状。
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公开(公告)号：CN103518068B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280019908.6
申请日：2012-12-20
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： F01D1/18 , B23P15/006 , C21D1/30 , C21D11/00 , C21D2261/00 , F04D29/023 , F04D29/281 , F05D2230/10 , F05D2230/40 , Y10T29/49764
摘要： 本发明提供一种机械部件的制造方法及具备通过该制造方法制造出的叶轮的旋转机械。该机械部件的制造方法具有推定任一机械加工工序之后的基体原料的中间形状的热处理后的强度的工序、将推定出的强度与最终形状所要求的基准强度进行比较的工序，通过该比较结果，在所述任一机械加工工序之后进行基体原料的热处理。
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公开(公告)号：CN104093864B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201380007999.6
申请日：2013-02-15
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： F27D7/02 , C21D1/34 , C21D1/767 , C21D1/773 , C21D9/00 , C21D9/0068 , C21D9/32 , C21D9/34 , C21D9/67 , C21D9/673 , C21D9/677 , F04D29/023 , F04D29/284 , F05D2230/40 , F27B5/04 , F27B17/0075 , F27B17/0083 , F27B2005/168
摘要： 该热处理方法是叶轮的热处理方法，具备：在真空炉内配置叶轮的热处理准备工序；通过由将传递来的热作为辐射热放射的辐射转换件形成的均热化夹具沿周向覆盖叶轮的外周面的叶轮包覆工序；利用加热器对由均热化夹具覆盖的叶轮从周围进行加热或冷却来进行热处理的具有加热工序及冷却工序的热处理工序。
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公开(公告)号：CN104093864A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007999.6
申请日：2013-02-15
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： F27D7/02 , C21D1/34 , C21D1/767 , C21D1/773 , C21D9/00 , C21D9/0068 , C21D9/32 , C21D9/34 , C21D9/67 , C21D9/673 , C21D9/677 , F04D29/023 , F04D29/284 , F05D2230/40 , F27B5/04 , F27B17/0075 , F27B17/0083 , F27B2005/168
摘要： 该热处理方法是叶轮的热处理方法，具备：在真空炉内配置叶轮的热处理准备工序；通过由将传递来的热作为辐射热放射的辐射转换件形成的均热化夹具沿周向覆盖叶轮的外周面的叶轮包覆工序；利用加热器对由均热化夹具覆盖的叶轮从周围进行加热或冷却来进行热处理的具有加热工序及冷却工序的热处理工序。
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公开(公告)号：CN101182627B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
摘要： 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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