公开(公告)号：CN112635378B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202011573358.5

申请日：2020-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张菊 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  马刚 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张贤龙 ,  李莹莹

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括上料单元、校正单元和/或缓存单元、处理单元和机械手臂，所述上料单元、校正单元和/或缓存单元中晶圆水平放置，所述处理单元中晶圆竖直放置；所述机械手臂包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指。本发明晶圆传输系统中晶圆可以实现水平放置位置和竖直放置位置的切换。

公开(公告)号：CN112497265A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011561726.4

申请日：2020-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  川辺哲也 ,  中岛隆志 ,  张菊 ,  马刚 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张贤龙 ,  李莹莹

IPC分类号： B25J18/00

摘要： 本发明公开了一种可实现翻转的机械手臂，包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指；其中，所述上手指在所述上末端执行器的带动下实现直线、旋转和翻转运动；所述下手指在所述下末端执行器的带动下实现直线和旋转运动。本发明具有两个可独立运动的末端执行器，其中上末端执行器可翻转，通过各驱动轴电机的协同工作可实现不同的运动姿态。

公开(公告)号：CN113990784A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111246252.9

申请日：2021-10-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  张菊 ,  董怀宝 ,  张加峰 ,  张贤龙 ,  曹洁 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  马刚 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  乐佳浩

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  G01R31/28

摘要： 本发明公开了一种多兼容性的晶圆载具上料站，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M‑1个发射端传感器、2M‑1个接收端传感器和M个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，所述发射端传感器包括1个基准发射端传感器和2M‑2个侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧。本发明提供的一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题。

公开(公告)号：CN113972158B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202111246239.3

申请日：2021-10-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张贤龙 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张菊 ,  董怀宝 ,  马刚 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  乐佳浩

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括具有搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元；所述机器人位于搬运腔室的中央，所述晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元分布在所述机器人的周围；所述晶圆载具上料站能够兼容M种尺寸的晶圆载具；所述机器人、预对准单元和缓存冷却单元能够分别对不同尺寸的晶圆进行搬运、预对准和缓存冷却。本发明提供的一种晶圆搬运系统，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题；同时还能兼容多种规格晶圆的搬运、预对准和冷却缓存，用于提高晶圆的传输效率。

公开(公告)号：CN112635378A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202011573358.5

申请日：2020-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张菊 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  马刚 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张贤龙 ,  李莹莹

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括上料单元、校正单元和/或缓存单元、处理单元和机械手臂，所述上料单元、校正单元和/或缓存单元中晶圆水平放置，所述处理单元中晶圆竖直放置；所述机械手臂包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指。本发明晶圆传输系统中晶圆可以实现水平放置位置和竖直放置位置的切换。

公开(公告)号：CN113972158A

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN202111246239.3

申请日：2021-10-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张贤龙 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张菊 ,  董怀宝 ,  马刚 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  乐佳浩

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括具有搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元；所述机器人位于搬运腔室的中央，所述晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元分布在所述机器人的周围；所述晶圆载具上料站能够兼容M种尺寸的晶圆载具；所述机器人、预对准单元和缓存冷却单元能够分别对不同尺寸的晶圆进行搬运、预对准和缓存冷却。本发明提供的一种晶圆搬运系统，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题；同时还能兼容多种规格晶圆的搬运、预对准和冷却缓存，用于提高晶圆的传输效率。

公开(公告)号：CN216188962U

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202122577405.X

申请日：2021-10-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  张菊 ,  董怀宝 ,  张加峰 ,  张贤龙 ,  曹洁 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  马刚 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  乐佳浩

IPC分类号： B65G47/74

摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆上料的载具装置，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M‑1个发射端传感器、2M‑1个接收端传感器和M个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，所述发射端传感器包括1个基准发射端传感器和2M‑2个侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧。本实用新型提供的一种用于晶圆上料的载具装置、上料装置及检测方法，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题。

公开(公告)号：CN216213326U

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202122578326.0

申请日：2021-10-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张贤龙 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张菊 ,  董怀宝 ,  马刚 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  乐佳浩

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种半导体晶圆传输装置，包括具有搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元；所述缓存冷却单元包括安装板、积水盘、冷却水管和至少一个缓存盘；所述积水盘固定在所述搬运腔室中，所述冷却水管和安装板固定在所述积水盘中，所述缓存盘固定在所述安装板上方；所述冷却水管分布在所述安装板底部和/或周围，用于对缓存盘中晶圆进行冷却。本实用新型提供的一种晶圆搬运系统，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题；同时还能兼容多种规格晶圆的搬运、预对准和冷却缓存，用于提高晶圆的传输效率。

公开(公告)号：CN214772030U

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202023178259.5

申请日：2020-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  川辺哲也 ,  中岛隆志 ,  张菊 ,  马刚 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张贤龙 ,  李莹莹

IPC分类号： B25J9/00 ,  B25J18/00

摘要： 本实用新型公开了一种末端执行器可翻转的SACRA机械手臂，包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指；其中，所述上手指在所述上末端执行器的带动下实现直线、旋转和翻转运动；所述下手指在所述下末端执行器的带动下实现直线和旋转运动。本实用新型具有两个可独立运动的末端执行器，其中上末端执行器可翻转，通过各驱动轴电机的协同工作可实现不同的运动姿态。

公开(公告)号：CN215149101U

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202023178308.5

申请日：2020-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  张菊 ,  张加峰 ,  马刚 ,  曹洁 ,  张贤龙 ,  李莹莹

IPC分类号： B25J9/04 ,  H01L21/677

摘要： 本实用新型公开了一种基于SCARA手臂的晶圆传输系统，包括上料单元、校正单元和/或缓存单元、处理单元和机械手臂，所述上料单元、校正单元和/或缓存单元中晶圆水平放置，所述处理单元中晶圆竖直放置；所述机械手臂包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指。本实用新型基于SCARA手臂的晶圆传输系统中晶圆可以实现水平放置位置和竖直放置位置的切换。