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公开(公告)号：CN110132420A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201810135372.3
申请日：2018-02-09
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC分类号： G01J4/00
摘要： 本发明公开了一种偏振测量装置、测量方法及光配向方法，测量装置包括光源、起偏偏振器、检偏偏振器、旋转模块、图像传感器及分析模块，光源发出的光经过起偏偏振器起偏，经过检偏偏振器检偏后入射图像传感器，旋转模块驱动检偏偏振器旋转，图像传感器实时获取检偏后光的成像信息，分析模块根据成像信息计算起偏偏振器在不同入射角对下的偏振特性。本发明以图像传感器代替能量探测器进行偏振测量，利用图像传感器中像素阵列的不同像素点对不同入射角度的光进行偏振测量，只需要对起偏偏振器在一定入射角度范围内的偏振进行一个周期的采集测量，就可以计算得出起偏偏振器在不同入射角度下的消光比与偏光角度，精简了偏振测试过程，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN111380509B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201811630079.0
申请日：2018-12-28
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种掩模版姿态监测方法、装置及掩模版颗粒度检测设备，其中，监测方法包括：获取至少一个标定点至标准面沿第一方向的距离；获取至少一个标定点至待测掩模版上第一检测点、第二检测点和第三检测点沿第一方向的距离，根据获取的数据计算待测掩模版相对于标准面绕第二方向的偏转角度以及绕第三方向的偏转角度，本发明能够在掩模版颗粒度检测过程中，在线对掩模版的姿态进行监测，简化监测设备，提高监测效率。
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公开(公告)号：CN108507498B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201710115102.1
申请日：2017-02-28
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种微镜监测方法与装置，以及照明装置和光刻机，该方法用以实时监测微镜的翻转角度与面型，包括：先提供至少两束平行等距的激光束；再获得两束激光束经所述微镜反射以及傅里叶透镜透射后形成于感光元件上的光斑；然后：测量得到光斑的位置，进而依据光斑位置确定所述微镜的翻转角度；测量得到所述两束激光束所产生的光斑的间距，进而依据光斑间距的变化确定所述微镜的面型变化。
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公开(公告)号：CN111380509A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811630079.0
申请日：2018-12-28
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种掩模版姿态监测方法、装置及掩模版颗粒度检测设备，其中，监测方法包括：获取至少一个标定点至标准面沿第一方向的距离；获取至少一个标定点至待测掩模版上第一检测点、第二检测点和第三检测点沿第一方向的距离，根据获取的数据计算待测掩模版相对于标准面绕第二方向的偏转角度以及绕第三方向的偏转角度，本发明能够在掩模版颗粒度检测过程中，在线对掩模版的姿态进行监测，简化监测设备，提高监测效率。
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公开(公告)号：CN108507498A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201710115102.1
申请日：2017-02-28
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种微镜监测方法与装置，以及照明装置和光刻机，该方法用以实时监测微镜的翻转角度与面型，包括：先提供至少两束平行等距的激光束；再获得两束激光束经所述微镜反射以及傅里叶透镜透射后形成于感光元件上的光斑；然后：测量得到光斑的位置，进而依据光斑位置确定所述微镜的翻转角度；测量得到所述两束激光束所产生的光斑的间距，进而依据光斑间距的变化确定所述微镜的面型变化。
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公开(公告)号：CN115406905A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110594591.X
申请日：2021-05-28
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/958 , G01N21/01
摘要： 本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法，其中，所述方法包括：照明单元提供远心光照作为测量光。测量光经待测物上的缺陷后产生散射光，图像探测单元获取散射光的光强，并根据光强获得缺陷信息。控制存储单元将散射光的光强与待测物的实时振幅，以获取并存储光强与振幅的对应关系，并以此来补偿所述光强，进而对缺陷信息进行校正。因此，本发明通过将散射光的光强与待测物的实时振幅相关联，并据此获得二者的对应关系，从而根据对应关系实现对光强的补偿，进而实现对缺陷信息的校正，避免了因内部运动机构和外部振动所引起的待测物的振动对缺陷检测精度的影响，以提高缺陷检测精度及产品良率。
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公开(公告)号：CN110132420B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201810135372.3
申请日：2018-02-09
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC分类号： G01J4/00
摘要： 本发明公开了一种偏振测量装置、测量方法及光配向方法，测量装置包括光源、起偏偏振器、检偏偏振器、旋转模块、图像传感器及分析模块，光源发出的光经过起偏偏振器起偏，经过检偏偏振器检偏后入射图像传感器，旋转模块驱动检偏偏振器旋转，图像传感器实时获取检偏后光的成像信息，分析模块根据成像信息计算起偏偏振器在不同入射角对下的偏振特性。本发明以图像传感器代替能量探测器进行偏振测量，利用图像传感器中像素阵列的不同像素点对不同入射角度的光进行偏振测量，只需要对起偏偏振器在一定入射角度范围内的偏振进行一个周期的采集测量，就可以计算得出起偏偏振器在不同入射角度下的消光比与偏光角度，精简了偏振测试过程，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN115406894A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110592434.5
申请日：2021-05-28
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要： 本发明提供一种照明装置、缺陷检测系统、光刻机以及缺陷检测方法。其中，所述光照单元用于提供线状光照。所述光调整单元用于调整所述光照的发散角至预设值。所述光分割单元用于将经光调整单元后的所述光照分割为至少两束子光照。所述至少两束子光照交错分布且光强相互叠加形成的光斑包括呈平顶高斯分布的光斑。因此，本发明通过所述光调整单元来增大所述光照的发散角至预设值，以在有限的空间中实现远心照明，提高缺陷检测精准度。并通过光分割单元形成的所述光斑，以保证在一定方向上部分光强的均匀，避免内部运动以及外界振动导致光强不均匀不稳定，以引起对缺陷检测的影响，进而保证了缺陷检测系统的高精准度，有利于提高产品良率。
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公开(公告)号：CN112577716B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201910943174.4
申请日：2019-09-30
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人： 张一志
摘要： 本发明公开了一种偏振测量装置与方法，通过不同角度入射的光源，携带了多个入射角度信息，并且携带多个入射角度信息的光源经过起偏器起偏，通过起偏器的偏振光通过光阑进行角度约束，透过光阑的光经过第一准直透镜进行准直，经准直后的偏振光透过检偏器进行检偏，并且成像装置对通过检偏器之后偏振光进行成像，其中，驱动装置对检偏器进行旋转驱动，在检偏器每次旋转之后，成像装置进行成像，从而根据成像装置每次成像的光斑图像确定不同角度入射的光线对应的消光比和偏光角，实现了高效率测量不同角度入射时的消光比和偏光角，进而获取起偏器的在不同角度入射时的起偏性能的差异，以根据实际需求选择合适的角度进行入射。
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公开(公告)号：CN112577716A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201910943174.4
申请日：2019-09-30
申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人： 张一志
摘要： 本发明公开了一种偏振测量装置与方法，通过不同角度入射的光源，携带了多个入射角度信息，并且携带多个入射角度信息的光源经过起偏器起偏，通过起偏器的偏振光通过光阑进行角度约束，透过光阑的光经过第一准直透镜进行准直，经准直后的偏振光透过检偏器进行检偏，并且成像装置对通过检偏器之后偏振光进行成像，其中，驱动装置对检偏器进行旋转驱动，在检偏器每次旋转之后，成像装置进行成像，从而根据成像装置每次成像的光斑图像确定不同角度入射的光线对应的消光比和偏光角，实现了高效率测量不同角度入射时的消光比和偏光角，进而获取起偏器的在不同角度入射时的起偏性能的差异，以根据实际需求选择合适的角度进行入射。
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