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公开(公告)号：CN103185429A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201110458402.2
申请日：2011-12-30
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： F25B45/00
摘要： 本发明提供了一种载冷剂回收循环装置，包括内层储液箱和外层储液箱，所述内层储液箱与外层储液箱连通，所述载冷剂回收循环装置还包括阀门、循环管路以及设置在所述内层储液箱内的液压泵，所述阀门分别连接所述内层储液箱、外层储液箱以及液压泵，所述循环管路的一端与液压泵连接，所述循环管路的另一端伸入至内层储液箱。本发明还提供了一种载冷剂回收循环装置的使用方法。本发明提供的载冷剂回收循环装置，通过控制阀门实现液压泵与内层储液箱连接、液压泵与外层储液箱连接的双向调节，提高了同一个液压泵的使用率，装置简单并且占据的空间小。
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公开(公告)号：CN102213502A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201010143650.3
申请日：2010-04-09
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提出一种提高半导体制冷系统稳定性的装置，包括半导体制冷器，所述半导体制冷器包括冷端以及设置于其两侧的热端，所述冷端与其两端的热端之间分别设置有半导体制冷片，需要被冷却的介质从第一管路接口处流入，通过半导体制冷器的冷端后，从第二管路接口流出，冷却水从第三管路接口处流入，通过半导体制冷器的热端后，从第四管路接口流出，其中，所述冷却水流入热端的部分通过电控流量调节阀调节，所述半导体制冷片上靠近热端部分设置有温度传感器。本发明提出的提高半导体制冷系统稳定性的装置，提高了半导体制冷系统工况的稳定性，使制冷系统输出的功率更加稳定，更进一步，该装置还可以节省资源。
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公开(公告)号：CN103185429B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201110458402.2
申请日：2011-12-30
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： F25B45/00
摘要： 本发明提供了一种载冷剂回收循环装置，包括内层储液箱和外层储液箱，所述内层储液箱与外层储液箱连通，所述载冷剂回收循环装置还包括阀门、循环管路以及设置在所述内层储液箱内的液压泵，所述阀门分别连接所述内层储液箱、外层储液箱以及液压泵，所述循环管路的一端与液压泵连接，所述循环管路的另一端伸入至内层储液箱。本发明还提供了一种载冷剂回收循环装置的使用方法。本发明提供的载冷剂回收循环装置，通过控制阀门实现液压泵与内层储液箱连接、液压泵与外层储液箱连接的双向调节，提高了同一个液压泵的使用率，装置简单并且占据的空间小。
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公开(公告)号：CN102213964B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201010143659.4
申请日：2010-04-09
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提出一种高精密温度控制装置及其参数自整定方法，所述装置包括：液槽；加热器，位于所述液槽内；至少一个流量传感器或至少一个压力传感器，位于所述循环部分的管路上；液位传感器，位于所述液槽内，且位于所述加热器一侧；流量泵，和液槽相连；至少一个温度传感器，位于液槽内或液槽的输出管路上；制冷器，和所述液槽相连；控制部分，包括控制器和触摸屏，控制器和触摸屏相连，控制器和加热器、第一传感器、液位传感器、温度传感器、制冷器分别相连。本发明提供的装置和方法解决了温控参数与实际工况的匹配问题，扩展了温度控制设备的应用范围，降低了成本。
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公开(公告)号：CN102348363A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010241669.1
申请日：2010-07-30
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明揭示了一种电气柜，其包括：壳体；进气口及出气口，设置于所述壳体上；散热导流装置，设置于所述出气口处。本发明提供的电气柜的散热导流装置集中在电气柜抽排出口处，改善电气柜内部流场，气流更充分的流过发热部件，提高换热效率，更好的保护板卡等电子元件，同时使电气柜外表面的温度更均匀可控。提高了抽排系统的效率，节约能耗，能有效保证设备系统内的温度，保证光刻机等设备的正常运行。
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公开(公告)号：CN101551179B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200910050696.8
申请日：2009-05-06
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： F25B21/02 , F25B49/00 , G05B19/048
摘要： 本发明提供了一种制冷系统及制冷方法，所述制冷系统包括控制器、功率驱动模块、半导体制冷模块、安全检测模块和管路控制模块，还包括硬线安全互锁模块，当发生故障时，硬线安全互锁模块接收安全检测模块和功率驱动模块输出的故障信号，控制功率驱动模块断开半导体制冷器的直流电源，并将故障信号传输至控制器进行处理，提高了制冷系统的安全性，所述制冷系统包括三相电源滤波模块，解决了现有的制冷系统产生谐波干扰的问题，提高了制冷系统的电磁兼容性。本发明所提供的制冷方法根据制冷量的需求，选择需启动的半导体制冷器数量，扩大了制冷系统的应用范围，并降低能耗。
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公开(公告)号：CN101221006A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810033264.1
申请日：2008-01-30
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供一种提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其包含依次连接的温度采集模块，控制器，功率驱动模块和半导体制冷模块；该温度采集模块由温度传感器和激励源组成；该半导体制冷模块包含2个相同的、由若干制冷片机械连接构成的半导体制冷器；该控制器采用PLC控制器；该功率驱动模块分别连接2个半导体制冷器。本发明可提高制冷系统的可靠性和制冷效率，同时在发生故障时能及时调整，保证制冷功率，不影响温控效果。
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公开(公告)号：CN102194529A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010128759.X
申请日：2010-03-19
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G12B15/06
摘要： 本发明提供了一种带有主动冷却的贴片式散热装置，包括形成流体回路的水冷贴片、主动制冷单元和泵。所述泵驱动循环冷却介质在所述回路中流通。所述水冷贴片与散热对象贴合，以通过所述循环冷却介质将所述散热对象中的热量转移到自身。所述主动制冷单元，其对循环冷却介质进行制冷，以使其达到预定温度。并且其中，所述水冷贴片中形成有蛇形管以供所述循环冷却介质流经。本发明的散热装置采用半导体制冷装置制冷，能够将水温稳定在很高精度范围内，并通过迅速散热的贴板结构能够将散热对象的温度稳定在与循环水温的相近温度，从而达到对象散热与温度稳定的功能。
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公开(公告)号：CN106935538A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201511025508.8
申请日：2015-12-30
申请人： 上海微电子装备有限公司
发明人： 余斌
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67739
摘要： 本发明公开了一种载片传输装置及其传输方法，该载片传输装置包括运动导轨，与运动导轨连接的输送机构和设于运动导轨上且与输送机构连接的载片台，载片置于所述载片台上，还包括与载片台连接的旋转机构和冷却机构，载片台上设有相对于旋转机构对称设置的第一载片区和第二载片区，旋转机构转动用于交换第一载片区和第二载片区的位置。本发明通过在载片台上设置第一载片区和第二载片区，以及与载片台连接的冷却机构，便于在一个载片进行键合的过程中对键合完毕的载片进行冷却和拆卸工作，以及放置下一个待键合的载片，减少了时间浪费，大大提高了工作效率；此外设置旋转装置，可以带动载片台旋转，以交换两个载片区的位置，进一步提高了键合的效率。
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公开(公告)号：CN102589752A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110007584.1
申请日：2011-01-14
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种热功率测试装置，与温度控制系统连接，温度控制系统包括：控制器、温度传感器、回液管道以及送液管道，温度传感器测得的温度信号被输送至控制器，热功率测试装置包括：旁通阀，旁通阀设置于回液管道以及送液管道之间，并与控制器连接；回液管道阀，设置于回液管道中，并与控制器连接；计时器，设置于控制器内部。本发明还提供了使用热功率测试装置的测试方法。本发明提供的热功率测试装置及其测试方法，通过将测试装置附加于已有的温度控制系统，使得对制冷制热对象的热功率测试可进行在线测试，而无需采用离线测试和开发专用的测试设备，测试装置简单并且占据的空间小，大部分测试元器件可共用。
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