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公开(公告)号：CN107785240B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN201710573155.8
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/3105 , C08G73/10
Abstract: 本实施方式的基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；红外线加热器，能够通过红外线加热所述基板；所述红外线加热器呈在多个部位弯折的管状，并且包括：弯曲部，以向外侧凸出的方式弯折；盖部，配置为从外侧覆盖所述弯曲部的至少一部分。
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公开(公告)号：CN106971938A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201610945544.4
申请日：2016-10-26
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: H01L21/67115 , H01L21/02 , H01L2221/67
Abstract: 本发明涉及一种基板加热装置及基板加热方法，缩短基板的加热所需要的工作时间。实施方式的基板加热装置包含：减压部，能够将涂布有用来形成聚酰亚胺的溶液的基板减压；第一加热部，能够以第一温度加热所述基板；以及第二加热部，能够以比所述第一温度更高的第二温度加热所述基板；且所述第二加热部与所述第一加热部分别独立地设置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107799434B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201710573158.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本实施方式的基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；加热部，配置在所述基板的一侧，并且能够加热所述基板；红外线加热器，配置在所述基板的另一侧，并且通过红外线能够加热所述基板；反射面，配置在所述加热部与所述红外线加热器之间，并且反射朝向所述加热部的所述红外线。
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公开(公告)号：CN107799434A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710573158.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67098 , H01L21/67115
Abstract: 本实施方式的基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；加热部，配置在所述基板的一侧，并且能够加热所述基板；红外线加热器，配置在所述基板的另一侧，并且通过红外线能够加热所述基板；反射面，配置在所述加热部与所述红外线加热器之间，并且反射朝向所述加热部的所述红外线。
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公开(公告)号：CN106971938B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201610945544.4
申请日：2016-10-26
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板加热装置及基板加热方法，缩短基板的加热所需要的工作时间。实施方式的基板加热装置包含：减压部，能够将涂布有用来形成聚酰亚胺的溶液的基板减压；第一加热部，能够以第一温度加热所述基板；以及第二加热部，能够以比所述第一温度更高的第二温度加热所述基板；且所述第二加热部与所述第一加热部分别独立地设置。
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公开(公告)号：CN107785240A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710573155.8
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/3105 , C08G73/10
CPC classification number: H01L21/0201 , C08G73/10 , H01L21/3105
Abstract: 本实施方式的基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；红外线加热器，能够通过红外线加热所述基板；所述红外线加热器呈在多个部位弯折的管状，并且包括：弯曲部，以向外侧凸出的方式弯折；盖部，配置为从外侧覆盖所述弯曲部的至少一部分。
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