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公开(公告)号：CN101667530A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910172117.7
申请日：2009-09-04
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67109 , H01L21/67766
摘要： 本发明提供一种处理装置、纵型热处理装置，该纵型热处理装置具有移载机构，该移载机构具有移载板，并且在该移载板的上表面载置被处理基板时，在水平保持该被处理基板的状态下使上述移载板移动。上述移载板具有沿前后方向从基端部向前端部水平延伸的悬臂支承结构。在上述移载板的上表面设有在前后方向的大致中央部与后部水平支承被处理基板的多个支承突起部。在上述移载板的前端侧不支承上述被处理基板。
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公开(公告)号：CN107689336A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710651619.2
申请日：2017-08-02
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67011
摘要： 本发明的目的在于提供一种能够防止副生成物的附着本身的盖体和使用了该盖体的基板处理装置。该盖体具有：金属板；石英板，其设置于该金属板上；螺纹孔，其贯穿所述石英板，该螺纹孔设置到所述金属板的预定深度；螺钉，其插入该螺纹孔，该螺钉用于将所述石英板固定于所述金属板；以及吹扫气体供给孔，其在俯视时设置于比该螺钉靠内侧的位置，该吹扫气体供给孔能够从所述金属板的内部朝向所述石英板的底面供给吹扫气体，以便能够向所述石英板与所述金属板之间的间隙供给吹扫气体。
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公开(公告)号：CN107689336B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201710651619.2
申请日：2017-08-02
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明的目的在于提供一种能够防止副生成物的附着本身的盖体和使用了该盖体的基板处理装置。该盖体具有：金属板；石英板，其设置于该金属板上；螺纹孔，其贯穿所述石英板，该螺纹孔设置到所述金属板的预定深度；螺钉，其插入该螺纹孔，该螺钉用于将所述石英板固定于所述金属板；以及吹扫气体供给孔，其在俯视时设置于比该螺钉靠内侧的位置，该吹扫气体供给孔能够从所述金属板的内部朝向所述石英板的底面供给吹扫气体，以便能够向所述石英板与所述金属板之间的间隙供给吹扫气体。
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公开(公告)号：CN101667530B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN200910172117.7
申请日：2009-09-04
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67109 , H01L21/67766
摘要： 本发明提供一种处理装置、纵型热处理装置，该纵型热处理装置具有移载机构，该移载机构具有移载板，并且在该移载板的上表面载置被处理基板时，在水平保持该被处理基板的状态下使上述移载板移动。上述移载板具有沿前后方向从基端部向前端部水平延伸的悬臂支承结构。在上述移载板的上表面设有在前后方向的大致中央部与后部水平支承被处理基板的多个支承突起部。在上述移载板的前端侧不支承上述被处理基板。
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