公开(公告)号：CN104051216B

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201410098636.4

申请日：2014-03-17

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 赵建平 ,  岩俊彦 ,  陈立 ,  彼得·L·G·文泽克 ,  梅里特·芬克

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01J37/02

摘要： 本发明涉及微波谐振器处理系统中的等离子体调谐杆。等离子体调谐杆系统设有一个或多个微波腔，一个或多个微波腔被配置成在等离子体内和/或邻近等离子体处通过在一个或多个等离子体调谐杆中生成共振微波能量来将期望的电磁（EM）波模式的EM能量耦合至等离子体。一个或多个微波腔组件可以耦合至处理室，并可以包括一个或多个调谐空间/腔。每个调谐空间/腔可以具有耦合至调谐空间/腔的一个或多个等离子体调谐杆。等离子体调谐杆可以被配置成在处理室内将EM能量从共振腔耦合至处理空间，并由此在处理空间内产生均匀等离子体。

公开(公告)号：CN104051216A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410098636.4

申请日：2014-03-17

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 赵建平 ,  岩俊彦 ,  陈立 ,  彼得·L·G·文泽克 ,  梅里特·芬克

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01J37/02

摘要： 本发明涉及微波谐振器处理系统中的等离子体调谐杆。等离子体调谐杆系统设有一个或多个微波腔，一个或多个微波腔被配置成在等离子体内和/或邻近等离子体处通过在一个或多个等离子体调谐杆中生成共振微波能量来将期望的电磁（EM）波模式的EM能量耦合至等离子体。一个或多个微波腔组件可以耦合至处理室，并可以包括一个或多个调谐空间/腔。每个调谐空间/腔可以具有耦合至调谐空间/腔的一个或多个等离子体调谐杆。等离子体调谐杆可以被配置成在处理室内将EM能量从共振腔耦合至处理空间，并由此在处理空间内产生均匀等离子体。