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公开(公告)号:CN104040679A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201280026144.3
申请日:2012-03-29
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01J37/32 , H01L21/311 , H01L21/3213
CPC分类号: H01L22/20 , H01J37/32082 , H01L21/31116 , H01L21/31138 , H01L21/31144 , H01L21/32136 , H01L21/32137 , H01L21/32139 , H01L21/6708 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一种处理晶圆的方法使用可以包括一个或更多个测量制程、一个或更多个离子能量控制(IEC)蚀刻工序以及一个或更多个离子能量优化(IEO)蚀刻制程的离子能量(IE)相关多层处理工序以及离子能量控制多输入/多输出(IEC-MIMO)模型和库。IEC-MIMO处理控制使用在多个层和/或多个IEC蚀刻工序之间的动态相互作用的行为建模。多个层和/或多个IEC蚀刻工序可以与可以使用IEO蚀刻制程来形成的线结构、沟槽结构、通孔结构、间隔结构、接触结构以及栅结构的形成相关联。
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公开(公告)号:CN104040679B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201280026144.3
申请日:2012-03-29
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01J37/32 , H01L21/311 , H01L21/3213
CPC分类号: H01L22/20 , H01J37/32082 , H01L21/31116 , H01L21/31138 , H01L21/31144 , H01L21/32136 , H01L21/32137 , H01L21/32139 , H01L21/6708 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一种处理晶圆的方法使用可以包括一个或更多个测量制程、一个或更多个离子能量控制IEC)蚀刻工序以及一个或更多个离子能量优化IEO)蚀刻制程的离子能量(IE)相关多层处理工序以及离子能量控制多输入/多输出(IEC-MIMO)模型和库。IEC-MIMO处理控制使用在多个层和/或多个IEC蚀刻工序之间的动态相互作用的行为建模。多个层和/或多个IEC蚀刻工序可以与可以使用IEO蚀刻制程来形成的线结构、沟槽结构、通孔结构、间隔结构、接触结构以及栅结构的形成相关联。
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公开(公告)号:CN103534780A
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201280023721.3
申请日:2012-03-28
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01J49/04
CPC分类号: H01J37/32935 , H01J49/488 , H05H1/0081 , Y10T29/49002
摘要: 一种离子能量分析仪(74,122,174),用于确定等离子体(66)的离子能量分布,并且包括进入栅网(80,126,160)、选择栅网(82,134,134’)和离子收集器(84,136,136’)。进入栅网(80,126,160)包括尺寸小于等离子体(66)的德拜长度的第一多个开口。离子收集器(84,136,136’)经由第一电压源(182)耦合到进入栅网(80,126,160)。选择栅网(82,134,134’)位于进入栅网(80,126,160)与离子收集器(84,136,136’)之间并且经由第二电压源(180)耦合到进入栅网(80,126,160)。离子电流计(106)耦合到离子收集器(84,136,136’),以测量离子收集器(84,136,136’)上的离子通量并传送与该离子通量相关的信号。
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公开(公告)号:CN103534780B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201280023721.3
申请日:2012-03-28
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01J49/04
CPC分类号: H01J37/32935 , H01J49/488 , H05H1/0081 , Y10T29/49002
摘要: 一种离子能量分析仪(74,122,174),用于确定等离子体(66)的离子能量分布,并且包括进入栅网(80,126,160)、选择栅网(82,134,134’)和离子收集器(84,136,136’)。进入栅网(80,126,160)包括尺寸小于等离子体(66)的德拜长度的第一多个开口。离子收集器(84,136,136’)经由第一电压源(182)耦合到进入栅网(80,126,160)。选择栅网(82,134,134’)位于进入栅网(80,126,160)与离子收集器(84,136,136’)之间并且经由第二电压源(180)耦合到进入栅网(80,126,160)。离子电流计(106)耦合到离子收集器(84,136,136’),以测量离子收集器(84,136,136’)上的离子通量并传送与该离子通量相关的信号。
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