公开(公告)号：CN1552091A

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN02817255.8

申请日：2002-07-01

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 小林真二 ,  北野高广 ,  森川祐晃 ,  石坂信和 ,  古闲法久 ,  南朋秀 ,  杉本伸一 ,  大仓淳 ,  栗岛启聪

IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01L21/67253 ,  B05C5/0216 ,  B05C5/0291 ,  B05D1/005 ,  G03F7/162 ,  H01L21/6715

摘要： 预先对与制品用基板相同的基板以喷嘴边进行扫描边供给涂布液以形成涂布液的线，对其例如以CCD摄像头进行摄像以求取涂布液的接触角，依据该接触角利用几何模型求取进行实际涂布时的扫描速度下的涂布液喷嘴的喷吐流量与间距容许范围二者的关系数据。并且，预先针对每种目标膜厚制作出涂布液喷嘴的喷吐流量与间距二者的关系数据，依据两者的关系数据确定间距。

公开(公告)号：CN1266741C

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：CN02817255.8

申请日：2002-07-01

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 小林真二 ,  北野高广 ,  森川祐晃 ,  石坂信和 ,  古闲法久 ,  南朋秀 ,  杉本伸一 ,  大仓淳 ,  栗岛启聪

IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01L21/67253 ,  B05C5/0216 ,  B05C5/0291 ,  B05D1/005 ,  G03F7/162 ,  H01L21/6715

摘要： 预先对与制品用基板相同的基板以喷嘴边进行扫描边供给涂布液以形成涂布液的线，对其例如以CCD摄像头进行摄像以求取涂布液的接触角，依据该接触角利用几何模型求取进行实际涂布时的扫描速度下的涂布液喷嘴的喷吐流量与间距容许范围二者的关系数据。并且，预先针对每种目标膜厚制作出涂布液喷嘴的喷吐流量与间距二者的关系数据，依据两者的关系数据确定间距。