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公开(公告)号：CN1266741C
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN02817255.8
申请日：2002-07-01
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： H01L21/67253 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05D1/005 , G03F7/162 , H01L21/6715
摘要： 预先对与制品用基板相同的基板以喷嘴边进行扫描边供给涂布液以形成涂布液的线，对其例如以CCD摄像头进行摄像以求取涂布液的接触角，依据该接触角利用几何模型求取进行实际涂布时的扫描速度下的涂布液喷嘴的喷吐流量与间距容许范围二者的关系数据。并且，预先针对每种目标膜厚制作出涂布液喷嘴的喷吐流量与间距二者的关系数据，依据两者的关系数据确定间距。
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公开(公告)号：CN111788465B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201980015944.7
申请日：2019-07-11
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G01K11/324
摘要： 例示性实施方式所涉及的温度测定传感器具备：基板；及光纤，其设置于基板的上表面并沿着上表面而延伸。温度测定传感器还具备：作为使上表面的上方的空间和基板的下表面的下方的空间连通的空间的光导入路径；及光耦合部，其设置于上表面并配置于光导入路径上。光耦合部与光纤的端面光学地连接。光纤构成第1图案形状及第2图案形状。第1图案形状比第2图案形状更密集地包含光纤。经由光导入路径从下表面侧入射到光耦合部的光经由光耦合部到达端面。
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公开(公告)号：CN1552091A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN02817255.8
申请日：2002-07-01
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： H01L21/67253 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05D1/005 , G03F7/162 , H01L21/6715
摘要： 预先对与制品用基板相同的基板以喷嘴边进行扫描边供给涂布液以形成涂布液的线，对其例如以CCD摄像头进行摄像以求取涂布液的接触角，依据该接触角利用几何模型求取进行实际涂布时的扫描速度下的涂布液喷嘴的喷吐流量与间距容许范围二者的关系数据。并且，预先针对每种目标膜厚制作出涂布液喷嘴的喷吐流量与间距二者的关系数据，依据两者的关系数据确定间距。
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公开(公告)号：CN111788465A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980015944.7
申请日：2019-07-11
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G01K11/32
摘要： 例示性实施方式所涉及的温度测定传感器具备：基板；及光纤，其设置于基板的上表面并沿着上表面而延伸。温度测定传感器还具备：作为使上表面的上方的空间和基板的下表面的下方的空间连通的空间的光导入路径；及光耦合部，其设置于上表面并配置于光导入路径上。光耦合部与光纤的端面光学地连接。光纤构成第1图案形状及第2图案形状。第1图案形状比第2图案形状更密集地包含光纤。经由光导入路径从下表面侧入射到光耦合部的光经由光耦合部到达端面。
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公开(公告)号：CN108693409A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810263265.9
申请日：2018-03-28
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： G01R27/2605 , G01R31/2831 , G01R31/2849 , G01R31/2865 , G01R31/2875 , G01R31/2881 , H01J37/32091 , H01J2237/334 , H01L21/67069 , H01L21/67167 , H01L21/67259 , H01L21/67742 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H05K1/0237 , H05K2201/10151
摘要： 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。
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公开(公告)号：CN109324303B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201810842703.7
申请日：2018-07-27
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 本公开涉及对测定器进行校准的方法和箱体。简单地对用于获取静电电容的测定器进行校准。测定器具有基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。多个传感器电极设置于基底基板。高频振荡器设置为，向多个传感器电极提供高频信号。运算部构成为，根据与多个传感器电极的电位相应的多个检测值，使用多个函数来分别计算表示多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值。箱体具有箱体主体、限制部(330)、上表面(313b)以及内周面(316b)。限制部(330)限制箱体主体内收纳的测定器的平移。多个上表面(313b)和内周面(316b)以能够与多个传感器电极分别面对的方式设置在箱体主体内。
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公开(公告)号：CN108693409B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201810263265.9
申请日：2018-03-28
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G01R27/26
摘要： 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。
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公开(公告)号：CN112151941A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010546135.3
申请日：2020-06-16
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供一种天线装置及温度检测方法。例示性实施方式的天线装置具有第1金属层、在第1金属层上设置的第1电介质层、在第1电介质层上设置的第2金属层以及在第2金属层上设置的第2电介质层，天线装置具备在第2电介质层上设置的第1金属端子及第2金属端子以及在第2电介质层上设置的温度检测器，第1金属端子与第2金属端子彼此分离配置，温度检测器的一对输入输出端子的各个与第1金属端子及第2金属端子的各个电连接，第2金属层具有配置于第1电介质层上的第1部分与第2部分，第1部分与第2部分彼此分离配置，第1金属端子配置于第1部分的上方，第2金属端子配置于第2部分的上方，第1电介质层的材料具有比FR‑4树脂更高的导热系数与更高的耐热性。
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公开(公告)号：CN109324303A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810842703.7
申请日：2018-07-27
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G01R35/00
摘要： 本公开涉及对测定器进行校准的方法和箱体。简单地对用于获取静电电容的测定器进行校准。测定器具有基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。多个传感器电极设置于基底基板。高频振荡器设置为，向多个传感器电极提供高频信号。运算部构成为，根据与多个传感器电极的电位相应的多个检测值，使用多个函数来分别计算表示多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值。箱体具有箱体主体、限制部(330)、上表面(313b)以及内周面(316b)。限制部(330)限制箱体主体内收纳的测定器的平移。多个上表面(313b)和内周面(316b)以能够与多个传感器电极分别面对的方式设置在箱体主体内。
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