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公开(公告)号：CN1225680C
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN99801416.8
申请日：1999-08-09
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 一种流体可变式流量控制装置，通过一台流量控制装置可自由地改变最大刻度流量，且能以高精度控制多种流体的流量。具体地，在将节流孔上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上、进行流体的流量控制的流量控制装置FCS中，包括：为了依据流体的种类或流量范围而设定适当的节流孔直径而设置成可自由更换的节流孔8；设置在其上游侧的控制阀2；设置在控制阀2与节流孔8之间的压力检测器6；从该压力检测器6的上游侧检测压力P1以流量为Qc＝kP1(k为常数)进行演算的流量演算回路14；将流量设定信号Qe输出的流量设定回路16；为了切换最大刻度流量，将演算流量信号Qc乘以流量变换率k，变换成切换演算流量信号Qf(Qf＝kQc)的流量变换回路18；以该Qf与Qe之差作为控制信号Qy并输出给控制阀2的驱动部4的演算控制回路20，开闭控制阀2，使Qy为零。
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公开(公告)号：CN102341760B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200980157836.X
申请日：2009-11-06
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
摘要： 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
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公开(公告)号：CN1275218A
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN99801434.6
申请日：1999-08-09
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： 对于使用孔板的流量控制装置,可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞,可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是,在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC=KP1(K:常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中,其堵塞检测装置由:储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M,在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14,对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU,以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
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公开(公告)号：CN1282848C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： F17D3/00
摘要： 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QC，根据该计算流量QC与设定流量QS之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1114847C
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：CN99801434.6
申请日：1999-08-09
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： 对于使用孔板的流量控制装置，可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞，可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是，在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC＝KP1(K：常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中，其堵塞检测装置由：储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M，在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14，对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU，以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
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公开(公告)号：CN1275217A
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN99801416.8
申请日：1999-08-09
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 一种流体可变式流量控制装置,通过一台流量控制装置可自由地改变最大刻度流量,且能以高精度控制多种流体的流量。具体地,在将节流孔上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上、进行流体的流量控制的流量控制装置FCS中,包括:为了依据流体的种类或流量范围而设定适当的节流孔直径而设置成可自由更换的节流孔8;设置在其上游侧的控制阀2;设置在控制阀2与节流孔8之间的压力检测器6;从该压力检测器6的上游侧检测压力P1以流量为Qc=KP1(K为常数)进行演算的流量演算回路14;将流量设定信号Qe输出的流量设定回路16;为了切换最大刻度流量,将演算流量信号Qc乘以流量变换率k,变换成切换演算流量信号Qf(Qf=kQc)的流量变换回路18;以该Qf与Qe之差作为控制信号Qy并输出给控制阀2的驱动部4的演算控制回路20,开闭控制阀2,使Qy为零。
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公开(公告)号：CN102341760A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200980157836.X
申请日：2009-11-06
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
摘要： 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
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公开(公告)号：CN1156738C
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 在利用节流孔的压力式流量控制装置上，一面进行流体的流量控制，一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力Pi保持在下游侧压力P2的约2倍以上，按QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QS，根据该计算流量QC与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中，由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅VO的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQS叠加在正常设定流量信号QSO上向控制阀CV输出时，能一面根据正常设定流量信号QSO进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1506607A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： F17D3/00
摘要： 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据Qc＝KP1(K为常数)计算下游侧流量Qc，根据该计算流量Qc与设定流量Qs之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQs，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1145790C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构，把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时，可防止压力检测器的应力引起隔膜变形，避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此，本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触，密封片与隔膜基座的本体部下面接触，同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽，推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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