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公开(公告)号:CN112750723B
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202011137537.4
申请日:2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法,即使在切割品的尺寸小的情况下也能够提高清洗效率。包括:容器(21),收纳封装基板被切割而形成的多个切割品(Sa);旋转机构(22),使容器(21)旋转;供液机构(23),向容器器(21)内的清洗液,多个切割品(Sa)在浸渍于清洗液的状态下,在通过旋转机构(22)旋转的容器(21)内被清洗。(21)内供给清洗液;以及排液机构(24),排出容
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公开(公告)号:CN117941051A
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN202280059817.9
申请日:2022-08-04
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/301
Abstract: 本发明是加工装置100,其自动更换用以保持加工对象物的保持用板,且将密封完毕基板W保持于加工用工作台2A、加工用工作台2B上,使加工用工作台2A、加工用工作台2B移动的同时,通过加工机构4对密封完毕基板W进行加工,所述加工装置100包括:板收容部24,收容用以保持密封完毕基板W的保持用板M1;保持基部M2,以能够装卸的方式安装有保持用板M1,使用保持用板M1来保持密封完毕基板W;以及板搬送机构25,在板收容部24与保持基部M2之间搬送保持用板M1,板搬送机构25将自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24,并将位于板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。
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公开(公告)号:CN112750740B
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202011136270.7
申请日:2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地输送多个切割品的输送模块、切割装置以及切割品的制造方法。包括:移动体(44),配置在切割台(12b)上,能够一边与封装基板(S)被切割而形成的多个切割品(Sa)接触一边移动;驱动机构(46),驱动移动体(44);以及移送机构(47),移送多个切割品(Sa),移送机构(47)通过移动体(44)将与移动体送。(44)接触的切割品(Sa)从切割台(12b)分离并移
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公开(公告)号:CN112750723A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN202011137537.4
申请日:2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法,即使在切割品的尺寸小的情况下也能够提高清洗效率。包括:容器(21),收纳封装基板被切割而形成的多个切割品(Sa);旋转机构(22),使容器(21)旋转;供液机构(23),向容器(21)内供给清洗液;以及排液机构(24),排出容器(21)内的清洗液,多个切割品(Sa)在浸渍于清洗液的状态下,在通过旋转机构(22)旋转的容器(21)内被清洗。
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公开(公告)号:CN117103369A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202310338137.7
申请日:2023-03-31
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 一种刀片更换装置包括:刀片更换机构,其包括至少第一吸取器,第一吸取器配置为吸取刀片;罩主体,其配置为将刀片更换机构容纳在罩主体中;关闭器,其配置为能够与刀片更换机构一体地移动,并且进一步配置为在刀片更换机构容纳在罩主体中的状态下关闭罩主体的开口;和气体喷射器,其配置为在刀片更换机构容纳在罩主体中时向第一吸取器的刀片吸取表面喷射气体。
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公开(公告)号:CN112750740A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN202011136270.7
申请日:2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地输送多个切割品的输送模块、切割装置以及切割品的制造方法。包括:移动体(44),配置在切割台(12b)上,能够一边与封装基板(S)被切割而形成的多个切割品(Sa)接触一边移动;驱动机构(46),驱动移动体(44);以及移送机构(47),移送多个切割品(Sa),移送机构(47)通过移动体(44)将与移动体(44)接触的切割品(Sa)从切割台(12b)分离并移送。
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