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公开(公告)号：CN101942670A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010275685.2
申请日：2004-12-17
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 本发明提供一种气体生成装置，通过延长过滤器的使用寿命而能够长时间保护压力调整阀。本发明的气体生成装置是一种将电解槽内的电解液电解生成气体的气体生成装置，包括：将从气体生成装置中生成的不要成分除去的除去塔，将从上述除去塔排放的雾沫除去的过滤器，以及调整上述电解槽内的压力的压力调整阀，上述过滤器插入上述除去塔的下游，上述压力调整阀配置在上述过滤器的下游。
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公开(公告)号：CN101379592A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780005002.8
申请日：2007-02-07
申请人： 东洋炭素株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
摘要： 氟气发生装置与半导体制造装置(3a～3e)经由气体供给系统(2)连接，该气体供给系统(2)具有能够贮藏规定量的由现场氟气发生装置(1a～1e)发生的氟气的贮藏罐(12)，当现场氟气发生装置(1a～1e)中1个以上停止时，通过从贮藏有规定量的氟气的贮藏罐(12)向半导体制造装置(3a～3e)供给氟气，从而维持半导体制造装置(3a～3e)的运用。由此，能够安全稳定地将在氟气发生装置发生的氟气向半导体制造装置供给，并且获得在半导体制造中价格性能比也优越的半导体制造设备。
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公开(公告)号：CN101248216A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680030920.1
申请日：2006-06-28
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 一种氟系气体产生装置，在具备阳极室和阴极室的电解槽内具有由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解浴，通过对前述电解浴进行电解来产生含氟的气体，该氟系气体产生装置具有：原料供给配管，在前述电解槽中到达电解浴中，用于供给电解用原料；常闭型阀，设置在前述原料供给配管的中途；和设置有常开型阀的迂回用配管，将比前述常闭型阀靠向下游侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分连接。由此，电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置的原料供给配管内，可事先防止在原料供给配管内发生固化。
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公开(公告)号：CN101379592B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200780005002.8
申请日：2007-02-07
申请人： 东洋炭素株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
摘要： 氟气发生装置与半导体制造装置(3a～3e)经由气体供给系统(2)连接，该气体供给系统(2)具有能够贮藏规定量的由现场氟气发生装置(1a～1e)发生的氟气的贮藏罐(12)，当现场氟气发生装置(1a～1e)中1个以上停止时，通过从贮藏有规定量的氟气的贮藏罐(12)向半导体制造装置(3a～3e)供给氟气，从而维持半导体制造装置(3a～3e)的运用。由此，能够安全稳定地将在氟气发生装置发生的氟气向半导体制造装置供给，并且获得在半导体制造中价格性能比也优越的半导体制造设备。
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公开(公告)号：CN101248216B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200680030920.1
申请日：2006-06-28
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 一种氟系气体产生装置，在具备阳极室和阴极室的电解槽内具有由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解浴，通过对前述电解浴进行电解来产生含氟的气体，该氟系气体产生装置具有：原料供给配管，在前述电解槽中到达电解浴中，用于供给电解用原料；常闭型阀，设置在前述原料供给配管的中途；和设置有常开型阀的迂回用配管，将比前述常闭型阀靠向下游侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分连接。由此，电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置的原料供给配管内，可事先防止在原料供给配管内发生固化。
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公开(公告)号：CN1572480A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410049033.1
申请日：2004-06-11
申请人： 东洋炭素株式会社
IPC分类号： B30B11/00
CPC分类号： C04B41/009 , B30B11/001 , C04B38/00 , C04B41/4823 , C04B41/5001 , C04B41/5059 , C04B41/5064 , C04B41/51 , C04B41/83 , C04B41/85 , C04B41/87 , C04B41/88 , Y10T428/30 , C04B35/52 , C04B38/0054 , C04B35/528
摘要： 提供没有扭曲、弯曲等的、即使在热处理的场合也能够得到裂纹等的发生较少的、规定尺寸的碳制品且批量生产性良好的长尺寸碳成形体、长尺寸碳制品及其制造方法。其为纵横尺寸比在3～20的长尺寸碳成形体，成形体的密度不均匀性对于整个成形体在0.05Mg/m3或以下。
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公开(公告)号：CN1661134A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200410081825.7
申请日：2004-12-17
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 本发明提供一种气体生成装置，通过延长过滤器的使用寿命而能够长时间保护压力调整阀。本发明的气体生成装置是一种将电解槽内的电解液电解生成气体的气体生成装置，包括：将从气体生成装置中生成的不要成分除去的除去塔，将从上述除去塔排放的雾沫除去的过滤器，以及调整上述电解槽内的压力的压力调整阀，上述过滤器插入上述除去塔的下游，上述压力调整阀配置在上述过滤器的下游。
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