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公开(公告)号：CN101379592A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780005002.8
申请日：2007-02-07
申请人： 东洋炭素株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
摘要： 氟气发生装置与半导体制造装置(3a～3e)经由气体供给系统(2)连接，该气体供给系统(2)具有能够贮藏规定量的由现场氟气发生装置(1a～1e)发生的氟气的贮藏罐(12)，当现场氟气发生装置(1a～1e)中1个以上停止时，通过从贮藏有规定量的氟气的贮藏罐(12)向半导体制造装置(3a～3e)供给氟气，从而维持半导体制造装置(3a～3e)的运用。由此，能够安全稳定地将在氟气发生装置发生的氟气向半导体制造装置供给，并且获得在半导体制造中价格性能比也优越的半导体制造设备。
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公开(公告)号：CN101248216A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680030920.1
申请日：2006-06-28
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 一种氟系气体产生装置，在具备阳极室和阴极室的电解槽内具有由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解浴，通过对前述电解浴进行电解来产生含氟的气体，该氟系气体产生装置具有：原料供给配管，在前述电解槽中到达电解浴中，用于供给电解用原料；常闭型阀，设置在前述原料供给配管的中途；和设置有常开型阀的迂回用配管，将比前述常闭型阀靠向下游侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分连接。由此，电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置的原料供给配管内，可事先防止在原料供给配管内发生固化。
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公开(公告)号：CN1266031C
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200310119692.3
申请日：2003-11-20
申请人： 东洋炭素株式会社
IPC分类号： C01B7/20
CPC分类号： C25B1/245
摘要： 目的在于即使在氟气发生装置的HF的供给停止或异常时，也不会使电解液腐蚀上游管路，且管路内不会残留HF。是用来电解由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解液而产生氟气的氟气发生装置，具有：向前述电解液中提供氟化氢气体的氟化氢气体供给管路；配置在前述氟化氢气体供给管路上且在前述氟化氢气体的供给停止时关闭的第1自动阀；在前述氟化氢气体的供给停止时，排出残存在前述氟化氢气体供给管路的比前述第1自动阀更下游侧的管路内的氟化氢气体并置换为惰性气体的惰性气体置换机构。
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公开(公告)号：CN1502548A
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN200310119692.3
申请日：2003-11-20
申请人： 东洋炭素株式会社
IPC分类号： C01B7/20
CPC分类号： C25B1/245
摘要： 目的在于即使在氟气发生装置的HF的供给停止或异常时，也不会使电解液腐蚀上游管路，且管路内不会残留HF。是用来电解由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解液而产生氟气的氟气发生装置，具有：向前述电解液中提供氟化氢气体的氟化氢气体供给管路；配置在前述氟化氢气体供给管路上且在前述氟化氢气体的供给停止时关闭的第1自动阀；在前述氟化氢气体的供给停止时，排出残存在前述氟化氢气体供给管路的比前述第1自动阀更下游侧的管路内的氟化氢气体并置换为惰性气体的惰性气体置换机构。
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公开(公告)号：CN101942670A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010275685.2
申请日：2004-12-17
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 本发明提供一种气体生成装置，通过延长过滤器的使用寿命而能够长时间保护压力调整阀。本发明的气体生成装置是一种将电解槽内的电解液电解生成气体的气体生成装置，包括：将从气体生成装置中生成的不要成分除去的除去塔，将从上述除去塔排放的雾沫除去的过滤器，以及调整上述电解槽内的压力的压力调整阀，上述过滤器插入上述除去塔的下游，上述压力调整阀配置在上述过滤器的下游。
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公开(公告)号：CN101213325B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200780000033.4
申请日：2007-01-19
申请人： 东洋炭素株式会社
CPC分类号： C25B1/245 , C25B11/0478 , C25B11/12
摘要： 本发明的任务在于提供一种通过电解含氟化氢的熔盐而制造氟或三氟化氮的电解装置，此电解装置的优点在于可进行电解，而即使在大电流密度下也不会出现阳极效应，而且不会发生阳极溶解。在本发明中，此任务通过下面的电解装置完成，所述电解装置通过施加1到1000A/dm2的电流密度电解含氟化氢的熔盐以制造氟或三氟化氮，该电解装置以涂覆导电金刚石的电极作为阳极。
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公开(公告)号：CN1307325C
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN01807654.8
申请日：2001-04-06
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 一种对含氟化氢的混合熔融盐进行电解而生成高纯度的氟气用的氟气发生装置，由以下部分构成：被隔板28分成阳极室5和阴极室7的电解槽；分别向上述阳极室5和上述阴极室7供给气体，且将上述阳极室5和上述阴极室7维持在既定压力的压力维持机构50。
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公开(公告)号：CN1604970A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN02825158.X
申请日：2002-12-09
申请人： 东洋炭素株式会社
摘要： 本发明是对由KF·2HF组成的电解液(24)进行电解而发生高纯度F2气体的F2气体发生装置(G)，其特征在于有从KF或KF·HF制备成KF·2HF的制备系统(A)、和向前述电解液(24)及前述制备系统(A)供给HF的HF供给系统(B)、及对由前述制备系统(A)制备的KF·2HF进行电解而发生F2气体发生系统(C)。
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公开(公告)号：CN101959594B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN200980107772.2
申请日：2009-03-06
申请人： 东洋炭素株式会社
IPC分类号： B01J19/00 , B01D53/68 , C08J7/12 , C23C8/08 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/6719 , B01J4/008 , H01L21/67017 , H01L21/67109
摘要： 本发明的表面处理装置(100)具备：稀释气体供给装置(1)，氟气供给装置(2)，混合稀释气体与氟气的混合器(5)，以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热，在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开，通过使用流路(219、220、221、222)，一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。
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公开(公告)号：CN101959594A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980107772.2
申请日：2009-03-06
申请人： 东洋炭素株式会社
IPC分类号： B01J19/00 , B01D53/68 , C08J7/12 , C23C8/08 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/6719 , B01J4/008 , H01L21/67017 , H01L21/67109
摘要： 本发明的表面处理装置(100)具备：稀释气体供给装置(1)，氟气供给装置(2)，混合稀释气体与氟气的混合器(5)，以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热，在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开，通过使用流路(219、220、221、222)，一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。
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