封装结构及包括其的麦克风
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118474649A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410744379.0

    申请日:2024-06-07

    IPC分类号: H04R19/04

    摘要: 本发明公开了一种封装结构及包括其的麦克风。根据本发明实施例的封装结构包括基板,基板上设置有收音孔;以及封装外壳,封装外壳与基板相连接,并与基板形成容纳腔,容纳腔与收音孔相连通,基板包括依次堆叠的第一子基板、第二子基板和第三子基板;第一子基板靠近封装外壳,第三子基板远离封装外壳;收音孔包括设置在第一子基板上的第一子收音孔、设置在第二子基板上的第二子收音孔和设置在第三子基板上的第三子收音孔;第一子收音孔、第二子收音孔和第三子收音孔相连通;第二子收音孔的孔截面积大于第一子收音孔和第三子收音孔的孔截面积。根据本发明实施例的封装结构及包括其的麦克风,优化了收音孔,提高了麦克风的信噪比。

    MEMS麦克风封装结构
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221961965U

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202420409175.7

    申请日:2024-03-04

    IPC分类号: H04R19/04

    摘要: 本申请提出了一种MEMS麦克风封装结构,包括:基板,包括相对的上表面和下表面,自上表面向下凹陷的导音槽,以及自下表面贯通至导音槽的收音孔;MEMS传感器芯片,具有两颗,并排设置在基板的上方,且位置对应于导音槽;片状件,设置在两颗MEMS传感器芯片和基板之间,片状件覆盖导音槽,且片状件上设有分别对应于两颗MEMS传感器芯片的两个声音通道。本申请通过使用两颗MEMS传感器芯片来增大振动膜的使用面积,可以提高灵敏度和信噪比,提高麦克风性能。此外,通过在基板上开设导音槽作为前腔,通过片状件提供两个独立的密封的声音通道分别为两颗MEMS传感器芯片传递声音信号,可进一步提高麦克风性能。