一体式平面化三轴磁传感器及其应用方法

    公开(公告)号:CN114114102B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202111371670.0

    申请日:2021-11-18

    IPC分类号: G01R33/09

    摘要: 本发明公开了一种一体式平面化三轴磁传感器及其应用方法,传感器包括分别设于承载部件上且位于同一平面内的四个磁测量复合器件,所述磁测量复合器件包括磁变轨单元、环形超导磁通聚集器和磁电阻测量单元,所述环形超导磁通聚集器夹持布置于磁变轨单元中,所述环形超导磁通聚集器上带有窄区,所述磁电阻测量单元布置于窄区的一侧,所述四个磁测量复合器件中一对磁测量复合器件的磁变轨单元与另一对磁测量复合器件的磁变轨单元相互垂直布置,一对磁测量复合器件的磁变轨单元之间相互平行布置。本发明能够实现三轴磁场的聚集放大和平面化高精度测量,且可以有效提高三轴正交性,具

    一种宽量程TMR传感器隧道结及传感器

    公开(公告)号:CN114937736A

    公开(公告)日:2022-08-23

    申请号:CN202210492358.5

    申请日:2022-05-07

    IPC分类号: H01L43/08 H01L43/10

    摘要: 本发明公开了一种宽量程TMR传感器隧道结及传感器,本发明的宽量程TMR传感器隧道结包括基底和设于基底上的三明治结构体,所述三明治结构体包括依次层叠布置的自由铁磁层、绝缘势垒层和钉扎层,所述自由铁磁层和钉扎层具有不同的矫顽力,所述三明治结构体中位于靠基底一侧的自由铁磁层具有垂直磁各向异性、位于远离基底一侧的钉扎层具有层叠平面内的磁各向异性;传感器的敏感桥臂采用了前述的宽量程TMR传感器隧道结,参考桥臂采用了水平隧道结磁电阻。本发明旨在解决TMR传感器量程较小难于测量大磁场的问题,且具有体积小、便于加工与集成的优点。

    超导-磁电阻复合磁传感器的量程扩展方法及测量装置

    公开(公告)号:CN116148726A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202310205121.9

    申请日:2023-03-06

    摘要: 本发明公开了一种超导‑磁电阻复合磁传感器的量程扩展方法及测量装置,本发明包括获取超导‑磁电阻复合磁传感器的输出电压,每当输出电压为饱和输出电压Vr时,向超导‑磁电阻复合磁传感器生成大小为Br/2、与饱和磁场方向一致的补偿磁场,使超导‑磁电阻复合磁传感器在脉冲激励的脉冲上升沿进入饱和区、在脉冲激励的脉冲下降沿变化到线性区中间值位置,并根据最终的输出电压Vt且脉冲激励次数n以及Vx=n×Vr+Vt计算检测输出电压Vx。发明能够解决超导‑磁电阻复合磁传感器量程有限的问题,在满足结构简单、体积小的前提上能够实现对超导‑磁电阻复合磁传感器的量程扩展,从而实现高分辨力与宽量程兼容。

    一种宽量程TMR传感器隧道结及传感器

    公开(公告)号:CN114937736B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202210492358.5

    申请日:2022-05-07

    IPC分类号: H10N50/10

    摘要: 本发明公开了一种宽量程TMR传感器隧道结及传感器,本发明的宽量程TMR传感器隧道结包括基底和设于基底上的三明治结构体,所述三明治结构体包括依次层叠布置的自由铁磁层、绝缘势垒层和钉扎层,所述自由铁磁层和钉扎层具有不同的矫顽力,所述三明治结构体中位于靠基底一侧的自由铁磁层具有垂直磁各向异性、位于远离基底一侧的钉扎层具有层叠平面内的磁各向异性;传感器的敏感桥臂采用了前述的宽量程TMR传感器隧道结,参考桥臂采用了水平隧道结磁电阻。本发明旨在解决TMR传感器量程较小难于测量大磁场的问题,且具有体积小、便于加工与集成的优点。

    超导/TMR复合的微弱电流检测方法、传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114137279A

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN202111371735.1

    申请日:2021-11-18

    IPC分类号: G01R19/00

    摘要: 本发明公开了一种超导/TMR复合的微弱电流检测方法、传感器及其制备方法,本发明方法包括将被检测微弱电流通过超导窄区,利用超导窄区的超导材料工作于超导态时的迈纳斯效应实现磁场聚集放大,将被检测微弱电流转换为放大后的磁信号;利用TMR磁传感器对放大后的磁信号进行检测得到被检测微弱电流的电信号。本发明利用超导窄区的超导材料工作于超导态时的迈纳斯效应,使得超导窄区表面的电流密度远大于常规导体、超导窄区周围磁场强度增大,从而实现磁场聚集放大,可实现更高倍数的电流磁场放大,从而大大提高磁电阻电流传感器电流分辨率,可有效提高对微弱电流的高精度、高灵敏探测。