光学玻璃阵列透镜微纳热压成型工艺

    公开(公告)号:CN111825311A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201910309977.4

    申请日:2019-04-17

    IPC分类号: C03B23/03 C23C14/35 C23C14/06

    摘要: 本发明提供了光学玻璃阵列透镜微纳热压成型工艺,步骤包括:采用微细电火花加工工艺制备微孔阵列模具,所述微孔匹配于光学玻璃阵列透镜,所述模具采用具有导电性能、符合强度、温度要求的硬质金属材料;采用磁控溅射技术在微孔阵列模具表面制备纳米氮化物基梯度复合涂层;预制玻璃坯料并置于微孔阵列模具表面,加热玻璃坯料,采用玻璃模压机在真空条件下热压坯料,在氮气氛围中冷却后脱模取样。采用本发明工艺不仅能够提高制备的光学玻璃阵列透镜表面质量,而且能够降低光学玻璃阵列透镜制造成本和制造难度。