公开(公告)号：CN104889576B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201510360385.7

申请日：2015-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单炯 ,  饶大幸 ,  崔勇 ,  李小莉 ,  周士安 ,  马伟新

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/16 ,  B23K26/067 ,  B23K101/36

Abstract: 本发明涉及一种高深径比微孔的制备方法及制备装置，用以高深径比微孔。本发明的制备方法是利用双脉冲组合的方式来制备高深径比微孔，在激光光源中包含了两种脉宽不同的激光组合，利用数字信号延时发生器分别控制双脉冲组合达到样品的时间，两种激光器的激光脉冲通过光学元器件组合聚焦至样品上，直接对样品进行激光刻蚀；制备装置中包括有飞秒激光器、纳秒激光器、数字信号延时发生器、半波片、光学起偏器、分束镜、全反射镜、白光光源、电荷耦合元件、三维移动平台和电脑。本发明技术可以直接突破单脉冲所能制备的最大微孔深径比极限，很好地解决目前微孔制备中深径比不高的技术难题。

公开(公告)号：CN104889576A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201510360385.7

申请日：2015-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单炯 ,  饶大幸 ,  崔勇 ,  李小莉 ,  周士安 ,  马伟新

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/16 ,  B23K26/067 ,  B23K101/36

CPC classification number: B23K26/0604 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/067 ,  B23K26/16 ,  B23K2101/36

Abstract: 本发明涉及一种高深径比微孔的制备方法及制备装置，用以高深径比微孔。本发明的制备方法是利用双脉冲组合的方式来制备高深径比微孔，在激光光源中包含了两种脉宽不同的激光组合，利用数字信号延时发生器分别控制双脉冲组合达到样品的时间，两种激光器的激光脉冲通过光学元器件组合聚焦至样品上，直接对样品进行激光刻蚀；制备装置中包括有飞秒激光器、纳秒激光器、数字信号延时发生器、半波片、光学起偏器、分束镜、全反射镜、白光光源、电荷耦合元件、三维移动平台和电脑。本发明技术可以直接突破单脉冲所能制备的最大微孔深径比极限，很好地解决目前微孔制备中深径比不高的技术难题。

公开(公告)号：CN105652487A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201610245863.4

申请日：2016-04-20

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单炯 ,  饶大幸 ,  李小莉 ,  崔勇 ,  高妍琦 ,  马伟新 ,  周士安

IPC: G02F1/13 ,  G02F1/35

CPC classification number: G02F1/132 ,  G02F1/1326 ,  G02F1/3515

Abstract: 本发明提供了一种金属纳米颗粒掺杂的液晶光开关，该液晶光开关包括石英基板，两块石英基板形成一端开口的腔室，石英基板的四周用热封层完全热封封闭，所述腔室的内壁上均涂覆有ITO薄膜层，所述ITO薄膜层上均涂覆有金属纳米颗粒层，所述腔室中灌有液晶分子和经过表面活性剂修饰的金属纳米颗粒，灌入液晶分子和经过表面活性剂修饰的金属纳米颗粒后，腔室的开口端热封封闭。本发明泵浦光照射石英基板，引起金属纳米颗粒的表面等离激元共振效应，使液晶分子取向发生偏转，改变了信号光的透射光强，由此形成开关效应；金属纳米颗粒的存在明显降低液晶光开关的阈值光强，开关的响应速度也明显提高，在未来全光器件和全光通信中有可观的应用前景。

公开(公告)号：CN204771160U

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201520446654.7

申请日：2015-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单炯 ,  饶大幸 ,  崔勇 ,  李小莉 ,  周士安 ,  马伟新

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/16 ,  B23K26/067 ,  B23K101/36

Abstract: 本实用新型涉及一种高深径比微孔的制备装置，用以高深径比微孔。本实用新型的制备装置是利用双脉冲组合的方式来制备高深径比微孔，在激光光源中包含了两种脉宽不同的激光组合，利用数字信号延时发生器分别控制双脉冲组合达到样品的时间，两种激光器的激光脉冲通过光学元器件组合聚焦至样品上，直接对样品进行激光刻蚀；制备装置中包括有飞秒激光器、纳秒激光器、数字信号延时发生器、半波片、光学起偏器、分束镜、全反射镜、白光光源、电荷耦合元件、三维移动平台和电脑。本实用新型技术可以直接突破单脉冲所能制备的最大微孔深径比极限，很好地解决目前微孔制备中深径比不高的技术难题。