-
公开(公告)号：CN107389688B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201710600243.2
申请日：2017-07-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01S11/12 , B23K26/00 , B23K26/354
摘要： 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷多工位集成修复方法，将紫外激光预处理系统、显微检测系统和二氧化碳激光修复系统集中安装在多自由度熔石英光学元件定位平台上，实现三工位集成。对熔石英光学元件安装定位后，采用紫外激光光斑对光学元件表面进行全口径逐行往复式扫描预处理；然后利用显微检测系统对熔石英光学元件表面微缺陷进行全口径暗场扫描检测；最后选定需要修复的微缺陷兴趣点，通过CO2红外激光系统对光学元件表面微缺陷进行局部单点融熔修复，从而完成熔石英光学元件表面微缺陷的多工位集成修复，该工艺方法实现多工位集成，节约了各个工位的装夹时间至少150分钟，提高了微缺陷修复的效率。
-
公开(公告)号：CN107389688A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710600243.2
申请日：2017-07-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01S11/12 , B23K26/00 , B23K26/354
摘要： 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷多工位集成修复方法，将紫外激光预处理系统、显微检测系统和二氧化碳激光修复系统集中安装在多自由度熔石英光学元件定位平台上，实现三工位集成。对熔石英光学元件安装定位后，采用紫外激光光斑对光学元件表面进行全口径逐行往复式扫描预处理；然后利用显微检测系统对熔石英光学元件表面微缺陷进行全口径暗场扫描检测；最后选定需要修复的微缺陷兴趣点，通过CO2红外激光系统对光学元件表面微缺陷进行局部单点融熔修复，从而完成熔石英光学元件表面微缺陷的多工位集成修复，该工艺方法实现多工位集成，节约了各个工位的装夹时间至少150分钟，提高了微缺陷修复的效率。
-
公开(公告)号：CN117930501A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410269186.4
申请日：2024-03-08
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明属于光学元件技术领域，具体涉及一种涉氚光学元件干法无损去污除膜方法。本发明首先根据元件表面膜层和基底的折射率等光学特征参数，模拟计算元件透射率/反射率与膜层厚度间的函数关系曲线；接着，利用分光光度计光路对光学元件透射率/反射率进行在线监测，并依据模拟计算得到的透射率/反射率与膜层厚度关系曲线，实时计算监测剩余膜层厚度；采用反应离子束刻蚀的方法对光学元件进行去污和除膜处理，当在线监测显示膜层已被完全去除时，停止反应离子束刻蚀；最后，对元件表面的氚污染含量进行测量确认。本发明提供的方法绿色环保无氚化水产生，不破坏元件基底，可同步实现元件的去污和除膜两个目的。
-
公开(公告)号：CN116297479A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310175409.6
申请日：2023-02-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于大口径光学元件损伤观测的无线侧照明装置及方法，包括对大口径光学元件进行固定的装调组件，还包括设置在待测大口径光学元件侧面，以提供损伤检测光源的照明模块；其中，所述照明模块通过相配合的线缆、接插件与装调组件上的供电模块电性连接。本发明提供一种用于大口径光学元件损伤观测的无线侧照明装置及方法，该装置无需单独外接有线电源，从而极大地扩展了大口径光学元件损伤观测的使用场景，观测时侧照明LED灯条可均匀辐照于整个大口径光学元件，根据观测距离和角度的不同，可分辨出表面或体内损伤。
-
公开(公告)号：CN112355488B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202011220524.3
申请日：2020-11-05
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/70 , B23K26/073
摘要： 本发明公开了一种抗激光损伤的软边光阑制备方法，按照以下步骤进行：S1：调试聚焦CO2激光脉冲的功率和脉宽，利用聚焦CO2激光脉冲辐照熔石英表面，形成无裂纹的烧蚀凹坑点；S2：利用光弹法检测烧蚀凹坑点的残余应力是否为0；S3：利用凹坑点排列密度调控光的透射率，使软边光阑边缘CO2激光相爆炸烧蚀凹坑点的密度朝着靠近软边光阑边缘的方向逐渐增加。采用以上技术方案，制备的软边光阑激光损伤阈值高且经济高效，克服了超短激光脉冲制备软边光阑成本高昂的问题，解决了CO2激光制备软边光阑的热应力问题，不仅可以制备传统的圆孔、方孔和矩形孔软边光阑，并且可以灵活方便地制备圆环、方形环以及中心透射率调制的软边光阑等。
-
公开(公告)号：CN113340504A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110788340.5
申请日：2021-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种从熔石英假想温度分布获取残余应力分布的方法，按照以下步骤进行：S1：构建熔石英的假想温度分布；S2：作出初始冻结状态曲线以及体积变化曲线；S3：计算各个位置的体积收缩量；S4：获得相对体积应变量的分布；S5：求解获得熔石英的残余应力分布。采用以上技术方案，简洁准确，易于实现，克服了现有方法评估残余应力复杂繁琐的技术问题，并解决了目前玻璃假想温度状态只表征其结构状态而不能通过其分布获取残余应力的难题；本方法不仅可以获得CO2激光作用后熔石英的残余应力分布，而且可以方便灵活地获得石英光纤的残余应力，在熔石英加工领域具有重要的应用价值。
-
公开(公告)号：CN109277372B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201811337942.3
申请日：2018-11-12
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种道路交通标线的激光清洗方法，该方法包括：对激光清洗机进行预热，调节所述激光清洗机输出激光的平均功率、重复频率和脉冲宽度；调节作用于道路交通标线上的激光光斑直径和激光光斑线长；将吸尘器的吸气嘴倾斜放置于距离激光作用点5cm‑10cm处；打开所述激光清洗机光闸，打开所述吸尘器，沿垂直于光斑线长方向同时水平移动所述激光清洗机输出头和所述吸尘器吸气嘴。本发明具有在不损伤路基的前提下有效去除道路交通标线，且清洗后的产物便于收集，对环境污染小的优点。
-
公开(公告)号：CN111229541A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010184859.8
申请日：2020-03-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于单面涂膜的降液式提拉涂膜机，主体支架、涂膜器、升降控制机构和储液器，储液器的底部通过连接管与涂膜器的底部连通。采用以上技术方案的用于单面涂膜的降液式提拉涂膜机，结构新颖，设计巧妙，不仅具有传统提拉涂膜方法所有的优势，而且制备流程简单，操作方便，效率高，同时，对于非平板结构的元件，可以根据涂膜对象的形状特征，对储液器的形状进行适应性地调整，使其与元件和涂膜开孔内部的空间形状互补，从而可以在储液器匀速升降的情况下，保持涂膜器中的液面下降速度也是匀速的，大幅提高涂膜的均匀性，简化升降控制机构的逻辑控制。
-
公开(公告)号：CN107036868A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710464476.4
申请日：2017-06-19
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及激光修复领域。本发明提供了一种用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置及方法，用于人为制备出熔石英光学元件的表面损伤，以供研究其修复过程，其技术方案可概括为：用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，包括光学平台、二维平移台、金刚石压针、配重装置、显微镜、支撑装置及控制终端，所述二维平移台及支撑装置分别与控制终端连接，受控制终端控制，显微镜与控制终端连接。本发明的有益效果是：简单方便，适用于人为制备出熔石英光学元件的表面损伤。
-
公开(公告)号：CN107021650A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710355002.6
申请日：2017-05-19
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种提高熔石英光学元件抗紫外激光损伤的方法，包括：采用碱性溶液对熔石英元件进行超声清洗；将碱性溶液清洗后的熔石英元件采用高纯水进行超声清洗，烘干；将高纯水清洗后的熔石英元件进行亚玻璃化转变温度热处理；将热处理后的熔石英元件进行动态酸蚀刻，烘干。本发明通过控制亚玻璃化转变温度热处理的温度、时间和动态酸蚀刻兆声场的频率、溶液浓度和刻蚀时间等参数来实现消除熔石英结构缺陷，提高熔石英抗紫外激光损伤的目的，以满足高功率固体激光装置的运行需求。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
54 条记录 (耗时 0.053 秒)
