一种高温超高精密电输运测试系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN115684273A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211413947.6

    申请日:2022-11-11

    IPC分类号: G01N27/00 G01N27/60

    摘要: 本发明公开了一种高温超高精密电输运测试系统及测试方法,属于材料电学性能测试的技术领域,将待测样品放置在真空腔体内的样品台上,并将待测样品接入测试电路中;开启真空系统的抽真空单元,通过抽真空单元对真空腔体内抽真空;关闭真空系统中的抽真空单元,开启真空系统中的冷吸附泵,通过冷吸附泵将真空腔体维持高真空状态;开启测试系统,根据测试需求设置测试温度,并测试待测样品的电学性能,以达到在高真空环境下的测试结果达到10fA量级且测试结果的数据稳定可靠,同时,能实现测试不同温度点以及变温条件下高阻样品电学性能的目的。