微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法

    公开(公告)号:CN114264275A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111621883.4

    申请日:2021-12-28

    IPC分类号: G01B21/30

    摘要: 本发明公开了一种微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法,包括如下步骤:用去离子水、无水乙醇和异丙醇对微纳光栅进行超声清洗,氮气吹干将三甲基氯硅烷滴到表面皿中,与微纳光栅一同置于真空干燥环境下,使三甲基氯硅烷充分钝化微纳光栅的表面;将固化剂加入聚二甲基硅氧烷中,混合均匀,消泡,得到PDMS混合物;将PDMS混合物倒在表面皿中,再将微纳光栅置于PDMS混合物表面,将附着PDMS混合物的微纳光栅置于真空干燥环境中脱气、固化,得到凝固仍带有微纳光栅的硅胶膜;将该硅胶膜与微纳光栅进行脱模,用硅胶模进行粗糙度测试。本发明可实现对微纳光栅表面难以测量的侧壁、槽底、深孔等复杂结构进行采集和复制,为复杂的微纳结构表面粗糙度测试提供了新思路。

    可见光-近红外宽光谱增透型光栅式光学元件及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113219570A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202110484128.X

    申请日:2021-04-30

    IPC分类号: G02B5/18

    摘要: 本发明是关于一种可见光‑近红外宽光谱增透型光栅式光学元件及其制备方法和应用,所述可见光‑近红外宽光谱增透型光栅式光学元件包括基底,所述基底具有接收和透过入射光的正面以及相对的背面,所述基底的正面设有亚微米量级的微结构周期阵列;所述微结构周期阵列包括底面直径不同的两种微纳结构单元。本发明所提供的可见光‑近红外宽光谱增透型光栅式光学元件,通过在光学元件表面构建复合型微纳结构阵列组合,以实现宽光谱的降低反射、增强透射的目的。本发明的光学元件可单独作为光学镜头、或光学窗口使用,也可与常规的光学镜头或光学窗口耦合使用,来提升相关仪器设备的综合性能。