-
公开(公告)号:CN117647264A
公开(公告)日:2024-03-05
申请号:CN202311242286.X
申请日:2023-09-25
IPC分类号: G01C25/00
摘要: 本申请涉及一种陀螺仪的标度因数标定方法、装置和计算机设备,具体涉及陀螺仪测试技术领域。所述方法包括:控制步进电机静止,并采集所述步进电机上待测陀螺仪的静态电压;控制所述步进电机旋转,并在所述步进电机旋转的过程中采集所述待测陀螺仪的动态电压;根据采样频率、所采集的动态电压和静态电压,以及所述步进电机的第一转动角度,确定旋转环境下所述步进电机的等效角速度和所述待测陀螺仪的等效输出电压;根据所述等效角速度和所述等效输出电压,对所述待测陀螺仪的标度因数进行标定。采用本方法能够快速准确地对标度因数进行标定,并且降低了设备成本。
-
公开(公告)号:CN118603676A
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202410801445.3
申请日:2024-06-20
IPC分类号: G01N1/22
摘要: 本申请涉及一种器件内部气氛取样装置、方法、设备、存储介质和程序产品。所述装置包括取样腔和穿刺模块,其中:所述取样腔的腔体上开设有穿刺孔;所述穿刺模块设置于所述取样腔内,所述穿刺模块用于在待测器件的壳面与所述取样腔外表面相贴合且覆盖所述穿刺孔的情况下,经过所述穿刺孔,刺破所述待测器件中的充气空腔;所述取样腔用于收集所述充气空腔中逸出的待测气氛。采用本方法能够提高器件内部气氛检测准确性。
-
公开(公告)号:CN116659740A
公开(公告)日:2023-08-29
申请号:CN202310446718.2
申请日:2023-04-23
摘要: 本申请涉及一种MEMS器件真空度测量方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。方法包括:获取MEMS器件在真空封装条件下的品质因数;获取MEMS器件在不同气压条件下的品质因数;根据不同气压条件下的品质因数进行拟合,得到拟合方程;基于拟合方程以及真空封装条件下的品质因数进行计算,得到MEMS器件的腔内真空度。整个方案通过测量MEMS器件在不同气压条件下的品质因数,根据不同气压条件下的品质因数进行拟合,得到拟合方程,拟合方程可以准确描述气压与品质因数之间的相关关系,进而根据拟合方程以及真空封装条件下的品质因数进行计算,可以准确地得到MEMS器件的腔内真空度。
-
公开(公告)号:CN115586348A
公开(公告)日:2023-01-10
申请号:CN202211122248.6
申请日:2022-09-15
IPC分类号: G01P21/00
摘要: 本申请涉及一种电容失配检测电路、方法和检测设备。所述电容失配检测电路与加速度计的差分电容结构连接,电容失配检测电路包括输入电路和控制器;输入电路分别与差分电容结构的上极板和差分电容结构的下极板连接,控制器的输出端与输入电路连接,控制器的输入端与差分电容结构的中间极板连接;输入电路,用于获取输入信号,并根据输入信号在差分电容结构的上下极板施加电压;控制器,用于获取差分电容结构的中间极板的输出信号,并在输出信号符合预设条件的情况下,根据输入信号确定差分电容结构的电容失配量化值。采用电容失配检测电路能够实现对电容式MEMS加速度计的本征电容失配值进行检测。
-
-
-