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公开(公告)号：CN114910096A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110177426.4
申请日：2021-02-09
摘要： 本发明提供一种MEMS陀螺正交耦合在片自动测试装置，其包含：测试模块，其满足圆片级正交耦合测试要求，集成在低寄生参数探卡上，通过低寄生探针与待测陀螺连接，用于对所述待测陀螺进行正交耦合测试；采集与配置模块，其与所述测试模块连接，用于对所述测试模块进行参数配置，并采集所述待测陀螺的驱动信号以及检测信号；控制模块，其与所述采集与配置模块连接，用于依据所述驱动信号以及所述检测信号计算得到所述待测陀螺的正交耦合数据。本发明能够在圆片级对陀螺正交耦合进行精确、批量测试，剔除正交耦合不合格芯片，并且，避免了不合格芯片进入下一生产环节，缩短了产品迭代周期，提高了生产效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN114111844B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202111482047.2
申请日：2021-12-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明提供一种MEMS惯性器件测试系统，包括：旋转模块、第一采集模块、滑环线、第二采集模块和控制模块；旋转模块包括转轴和环绕转轴设置的2n个测试端口，用于对应测试2n个以内的待测MEMS惯性器件；第一采集模块包括至少一个译码器；第一采集模块包括n路输入端和2n路输出端；2n路输出端用于连接2n个测试端口；滑环线包括n路滑环连接线；n路滑环连接线的一端连接第一采集模块的输入端；第二采集模块设有n路片选信号端；n路片选信号端连接滑环连接线的另一端；本发明能够通过在滑环线两端采用片选信号端和译码器，实现n条滑环线控制2n个待测件，解决了滑环线数量限制批量标定待测件数量的问题，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN103018651B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201210518811.1
申请日：2012-12-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01R31/26
摘要： 本发明公开了一种用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法，属于MEMS器件测试技术领域。该系统包括自动探针台、探卡、矩阵开关、测试模块及计算机，自动探针台上表面设有被测圆片，被测圆片与探卡连接，探卡与测试模块之间设有矩阵开关，计算机分别与自动探针台、矩阵开关、测试模块连通，该系统的测试方法依次为完成探卡选择、圆片固定与初始定位、芯片参数测试与质量判断、取出圆片、数据管理等功能，完成整个圆片的全部测试。本测试方法能够准确、高效地完成MEMS器件微小电容、导通电阻、绝缘电阻、谐振频率、品质因数等参数的在片精确测试，并根据该测试方法建立一套完整的软硬件测试系统，用于MEMS器件的研制与生产。
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公开(公告)号：CN114111844A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111482047.2
申请日：2021-12-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明提供一种MEMS惯性器件测试系统，包括：旋转模块、第一采集模块、滑环线、第二采集模块和控制模块；旋转模块包括转轴和环绕转轴设置的2n个测试端口，用于对应测试2n个以内的待测MEMS惯性器件；第一采集模块包括至少一个译码器；第一采集模块包括n路输入端和2n路输出端；2n路输出端用于连接2n个测试端口；滑环线包括n路滑环连接线；n路滑环连接线的一端连接第一采集模块的输入端；第二采集模块设有n路片选信号端；n路片选信号端连接滑环连接线的另一端；本发明能够通过在滑环线两端采用片选信号端和译码器，实现n条滑环线控制2n个待测件，解决了滑环线数量限制批量标定待测件数量的问题，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN109443390B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201811477068.3
申请日：2018-12-05
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明适用于计算机技术领域，提供了一种数字陀螺仪相位延时测试系统，包括角振动台、标准模拟传感器、被测数字陀螺仪、测试设备和上位机；角振动台产生振动动作；被测数字陀螺仪检测角振动台的振动动作并输出振动数字信号；标准模拟传感器检测角振动台的振动动作并输出振动模拟信号；测试设备根据上位机下达的同步采集指令同步采集振动数字信号及振动模拟信号，并发送至上位机；上位机计算振动数字信号和振动模拟信号的相对相位延时，根据相对相位延时及第一预设延时，计算被测数字陀螺仪的相位延时时间。本发明通过测试设备对数字信号和模拟信号同步采集，从而根据数字信号和模拟信号的相对相位延时，实现被测数字陀螺仪的相位延时检测。
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公开(公告)号：CN109443390A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811477068.3
申请日：2018-12-05
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明适用于计算机技术领域，提供了一种数字陀螺仪相位延时测试系统，包括角振动台、标准模拟传感器、被测数字陀螺仪、测试设备和上位机；角振动台产生振动动作；被测数字陀螺仪检测角振动台的振动动作并输出振动数字信号；标准模拟传感器检测角振动台的振动动作并输出振动模拟信号；测试设备根据上位机下达的同步采集指令同步采集振动数字信号及振动模拟信号，并发送至上位机；上位机计算振动数字信号和振动模拟信号的相对相位延时，根据相对相位延时及第一预设延时，计算被测数字陀螺仪的相位延时时间。本发明通过测试设备对数字信号和模拟信号同步采集，从而根据数字信号和模拟信号的相对相位延时，实现被测数字陀螺仪的相位延时检测。
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公开(公告)号：CN103018651A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210518811.1
申请日：2012-12-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01R31/26
摘要： 本发明公开了一种用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法，属于MEMS器件测试技术领域。该系统包括自动探针台、探卡、矩阵开关、测试模块及计算机，自动探针台上表面设有被测圆片，被测圆片与探卡连接，探卡与测试模块之间设有矩阵开关，计算机分别与自动探针台、矩阵开关、测试模块连通，该系统的测试方法依次为完成探卡选择、圆片固定与初始定位、芯片参数测试与质量判断、取出圆片、数据管理等功能，完成整个圆片的全部测试。本测试方法能够准确、高效地完成MEMS器件微小电容、导通电阻、绝缘电阻、谐振频率、品质因数等参数的在片精确测试，并根据该测试方法建立一套完整的软硬件测试系统，用于MEMS器件的研制与生产。
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