公开(公告)号：CN102288104B

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201110206449.X

申请日：2011-07-22

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  上海微电子装备有限公司

发明人： 陈建芳 ,  程兆谷 ,  程亚 ,  黄惠杰 ,  池峰

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/00

CPC分类号： G01B9/02 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/70

摘要： 一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。

公开(公告)号：CN102353325B

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201110206450.2

申请日：2011-07-22

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  上海微电子装备有限公司

发明人： 程兆谷 ,  陈建芳 ,  程亚 ,  黄惠杰 ,  池峰

IPC分类号： G01B9/02 ,  G02B27/28

CPC分类号： G01B9/02027 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/70

摘要： 一种四轴4细分干涉仪，其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次排列的四轴分光模块和干涉模块。所述的四轴分光系统由3个50%平面分光镜和3个45°平面反射镜组成。本发明包括四轴4细分平镜干涉仪和四轴4细分差分干涉仪，在差分干涉仪中采用可调节45°反射镜将参考光引导到与测量镜同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜。本发明具有元件易加工、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和光学效率高的优点。

公开(公告)号：CN102878923A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201210394472.0

申请日：2012-10-17

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 陈建芳 ,  程兆谷 ,  程亚 ,  黄惠杰 ,  池峰

IPC分类号： G01B9/02

摘要： 一种五轴差分干涉仪，构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和差分干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45°平面分光镜和3个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。

公开(公告)号：CN102353325A

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN201110206450.2

申请日：2011-07-22

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  上海微电子装备有限公司

发明人： 程兆谷 ,  陈建芳 ,  程亚 ,  黄惠杰 ,  池峰

IPC分类号： G01B9/02 ,  G02B27/28

CPC分类号： G01B9/02027 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/70

摘要： 一种四轴4细分干涉仪，其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次排列的四轴分光模块和干涉模块。所述的四轴分光系统由3个50%平面分光镜和3个45°平面反射镜组成。本发明包括四轴4细分平镜干涉仪和四轴4细分差分干涉仪，在差分干涉仪中采用可调节45°反射镜将参考光引导到与测量镜同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜。本发明具有元件易加工、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和光学效率高的优点。

公开(公告)号：CN102889854A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210394425.6

申请日：2012-10-17

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 程兆谷 ,  陈建芳 ,  程亚 ,  黄惠杰 ,  池峰

IPC分类号： G01B9/02

摘要： 一种五轴平镜干涉仪，构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45o平面分光镜、3个45o全反镜和1个光程补偿全透镜组成。本发明具有元件易加工、非线性误差小、各路光束温漂一致以及光路调节方便等优点。

公开(公告)号：CN102288104A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201110206449.X

申请日：2011-07-22

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  上海微电子装备有限公司

发明人： 陈建芳 ,  程兆谷 ,  程亚 ,  黄惠杰 ,  池峰

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/00

CPC分类号： G01B9/02 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/70

摘要： 一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。