双面抛光机浆料循环系统

    公开(公告)号:CN107186606A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710613270.3

    申请日:2017-07-25

    摘要: 本发明公开了一种双面抛光机浆料循环系统,包括内外齿圈和环状的上下磨盘,在下磨盘的内圆周面上固定有一块水平环状的内挡水圈,内挡水圈内边沿设有一圈向上的内挡水板,内挡水板上端高度大于下磨盘上放置游星轮后的高度;在内齿圈下表面设有一圈与内挡水板对应的内沟槽,内挡水板伸入内沟槽内,且内挡水板和内沟槽之间具有互不影响转动的间隙;内挡水圈、内挡水板和下磨盘内圆周面形成横截面为U型且开口向上的环形内接料槽。同样地,在下磨盘的外圆周面上固定有外挡水圈、外挡水板结构。本浆料循环系统结构简单,大大减少抛光料使用量,工件碎屑等杂质易清洗。

    一种光学镜面加工设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107175560A

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201710430201.9

    申请日:2017-06-08

    摘要: 本发明提出一种光学镜面加工设备,包括:工作台、固定架、刀具安装台、刀具驱动电机、镜面加工刀具、一个主直线滑台和三个辅助直线滑台。刀具安装台固定在主直线滑台上,刀具安装台安装有镜面加工刀具;三个辅助直线滑台分别通过依次相连的虎克铰、支链杆、球铰链与刀具安装台连接;主直线滑台实现镜面加工刀具一个自由度的移动,而三个辅助直线滑台实现镜面加工刀具三个自由度的转动。本发明将并联机构引入机床的构型中,刚度大,精度高,结构稳定。能够很好地加工工件,达到所要求的高精度标准。

    一种薄形平面光学元件磁性消应力上盘方法

    公开(公告)号:CN106181676A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610551553.5

    申请日:2016-07-14

    IPC分类号: B24B13/005 B24B13/00

    CPC分类号: B24B13/0052 B24B13/0018

    摘要: 一种薄形平面光学元件磁性消应力上盘方法:1)加工直径为2-10mm,厚度2-5mm的圆柱形磁铁块;2)对加工好的圆柱形磁铁块进行充磁,3)用研磨的方法将上盘基板工作面的平面度误差降低至小于0.01mm;4)将圆柱形的磁铁块按所设计的排列方式放置在上盘基板的工作面上;5)将待加工元件清洗干净,在上盘面贴一层粘结膜(双面胶),然后垂直施加压力使得待加工元件与上盘基板间的圆柱形磁铁块完全接触。本发明方法工艺简单,易操作,保持操作环境干净无污染,按此方法上盘的元件完成加工,下盘后可保持元件面形不变,适用于批量生产高精度薄形平面元件。

    大口径光学元件超精密加工抛光机床

    公开(公告)号:CN107932253A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201711421093.5

    申请日:2017-12-25

    发明人: 吴建东

    摘要: 本发明涉及光学元件抛光技术领域,尤其是一种大口径光学元件超精密加工抛光机床,包括底座、设置在底座上的立柱及位于立柱顶端的横梁,主轴电机的输出端上传动连接有花键套,花键套内滑动设置有与其相配合的花键轴,抛光模的上表面固定有与其相匹配的磁性金属板,磁性金属板与花键轴的底端端部固定连接;平台上固定有工作台及用于吸附抛光模上磁性金属板的电磁吸盘,本发明利用电磁吸盘产生的磁力吸附抛光模上的磁性金属板,从而实现抛光模对光学元件的待抛光表面产生一定的压力,且抛光模对光学元件待抛光表面的压力较为均匀,有利于提高对光学元件的抛光精度。

    一种平面光学元件磨削加工方法

    公开(公告)号:CN108453568A

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201810433403.3

    申请日:2018-05-08

    申请人: 湖南工学院

    IPC分类号: B24B1/00 B24B13/00 B24B13/01

    摘要: 一种平面光学元件磨削加工方法,步骤一、采用由旋转工作台和杯形砂轮组成的进给磨削模式完成工件的粗磨、半精磨和精磨加工;步骤二、亚表面损伤检测:采用定向磨料液体射流在精磨后的平面光学元件表面制作观测斜面;用氢氟酸溶液蚀刻所述观测斜面;得出水平面与该观测斜面之间的夹角值;确定最终裂纹消失时微动平台移动的总距离;结合最终裂纹消失时微动平台移动的总距离和水平面与该观测斜面之间的夹角值计算亚表面裂纹深度值;步骤三、采用与精磨时相同的磨削工艺参数对已检测完毕的平面光学元件表面进行加工,以去除观测斜面。本发明中的加工方法加工效率较高、可有效保证工件的表面精度和表面/亚表面质量。