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公开(公告)号：CN117802542B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410181584.0
申请日：2024-02-18
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明涉及铜电镀技术领域，公开一种铜互连电镀方法，属于铜电镀技术领域，包括以下步骤：（1）配制铜互连电镀液，所述铜互连电镀液包括硫酸铜、氯化铜、硫酸、添加剂和去离子水，其中，所述添加剂包括：加速剂、抑制剂、整平剂和助剂，所述助剂包括组分A，所述组分A为硫化聚合的蒽醌交联产物；（2）晶圆电镀，以待电镀的切割硅基晶圆为阴极，清洗后与磷铜阳极浸入所述铜互连电镀液中进行直流电镀；本发明采用具有界面离子浓度梯度均化作用的外加助剂作为芯片铜互连电镀添加剂，可实现无空洞和缺陷、均镀性佳、结构致密、表面光滑的效果。
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公开(公告)号：CN117612963A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202410088341.2
申请日：2024-01-22
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明涉及半导体生产技术领域，具体提供一种用于半导体芯片缺陷检测装置及检测方法，包括底板、高温箱、传输机、第一收集箱以及第二收集箱，高温箱、传输机、第一收集箱以及第二收集箱均连接于底板顶壁，第一收集箱上设有爆浆检测机构以及筛选机构，爆浆检测机构以及筛选机构电连接。本发明使网体上下往复移动从而让半导体芯片往复被抛起，从而解决传统高温检测的加热不均匀现象，防止出现加热死角，提高检测质量和检测准确性，可自动使质量合格的半导体芯片落至第二收集箱内，自动使质量不合格的半导体芯片落至第一收集箱内。
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公开(公告)号：CN113633319A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202111050946.5
申请日：2021-09-08
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提供一种咽拭子采样装置，包括：用于固定及承载咽拭子的采样头部装置、用于连接咽拭子采样装置和外部组件的转接平台、用于带动采样头部装置运动的采样运动装置；采样运动装置包括外壳、固定平台、安装在固定平台和转接平台之间的转台电机、安装在固定平台上的两个侧立板、安装在两个侧立板之间的转轴、安装在转轴上的横梁、安装在固定平台和横梁之间的拉簧、安装在固定平台上的丝杠电机、安装在丝杠电机的丝杠前端的顶轮、安装在固定平台上的防转装置；本发明用于避免咽拭子采集时医护人员与被采集者之间的感染，提高咽拭子采集的安全性；满足自动化、轻量化、采集动作快速性、采集舒适性及安全性等要求。
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公开(公告)号：CN111496097B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202010346802.3
申请日：2020-04-27
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明公开了一种CQFP引线四面成形及切割装置，包括：底座、用于对CQFP器件引线下表面进行冲压的冲压下模装置、用于对CQFP器件引线上表面进行冲压的冲压上模装置、用于同时调节冲压下模装置和冲压上模装置二维尺寸的二维尺寸调节装置、站高调节装置以及控制装置，冲压上模装置设有用于剪切CQFP器件多余引线的切脚模具；二维尺寸调节装置、站高调节装置以及冲压上模装置均与控制装置连接，控制装置用于控制二维尺寸调节装置运动和站高调节装置运动，用于控制冲压上模装置上下运动，以完成引线的冲压成形操作和多余引线的切割操作。本装置可实现直引线CQFP的四面引线一次成形和切割，有效保证成形效率和引脚共面性。
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公开(公告)号：CN105630015A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201511017822.1
申请日：2015-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G05D11/13
CPC分类号： G05D11/139
摘要： 本发明提出一种电路板清洗液自动配制系统，包括：原液槽、混合液存储槽；所述原液槽中设有液位传感器，所述原液槽与比例泵相连；所述混合液存储槽中设有PH计传感器。本发明采用组态编程的触摸屏与控制箱通过RS232连接的Modbus协议进行通讯，用户只需要将设定的浓度通过触摸屏输入窗口输入，并对电磁阀进行简单的控制操作，读取流量计质量流量，通过配比控制箱的计算，就可以得到相应浓度的溶液，采用液位传感器对原液槽液位进行观察，及时补液；采用PH计对配比及使用中的清洗液进行实时监测，方便后期分析溶液PH值对电路板清洗洁净度的影响，操作、设置与监视方便。
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公开(公告)号：CN102717145B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210176734.6
申请日：2012-05-31
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种具有定长功能的电子剪钳，包括两只铰接在一起的前端具有剪口的钳柄，在两只所述钳柄铰接的铰链轴上，连接有对裁剪对象的长度进行限定的定位装置。本发明具有定长功能的电子剪钳，有效的实现了对线类电子材料长度的准确限定，操作简便、实用性强，大大提高了工作效率，能够较好的保证电气装配时材料使用的规范性和一致性。
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公开(公告)号：CN104503594A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410783251.1
申请日：2014-12-16
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G06F3/02 , G06F3/0354 , G06F3/038
摘要： 一种PS/2键盘鼠标远程切换系统，涉及计算机领域，包括PS/2键盘鼠标切换装置和多个PS/2键盘鼠标模拟器；PS/2键盘鼠标切换装置由外部PS/2键盘输入接口、外部PS/2鼠标输入接口、PS/2键盘信号接收与处理单元、PS/2鼠标信号接收与处理单元、切换控制开关、输出通道指示单元、两个5V电源半导体开关、多个RS232信号输出接口组成。PS/2键盘鼠标模拟器由RS232信号输入接口、PS/2键盘信号模拟与处理单元、PS/2鼠标信号模拟与处理单元、PS/2键盘信号输出接口和PS/2鼠标信号输出接口组成。本发明实现了多台计算机共用一套外部PS/2键盘和外部PS/2鼠标，实现了远距离控制，并且任何时候任何场合外部PS/2键盘和外部PS/2鼠标断开都不会影响计算机工作。本发明便于布线，可以在一定程度上延长传输距离。
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公开(公告)号：CN102709780B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201210194653.9
申请日：2012-06-13
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： H01R43/02
摘要： 连接器焊接专用台钳，涉及电子装联技术领域，解决了现有的台钳不具有调节钳口高度和选择钳口功能的缺陷。本发明的台钳包括底座、支撑柱、连接柱、左固定柱和右固定柱，底座底部外表面设置有吸盘，内部中心设置有连动机构，支撑柱一端与底座固定连接，另一端与连接柱固定连接，连接柱两端分别与左固定柱和右固定柱固定连接，还包括旋转单杆、升降旋钮、升降螺丝、下钳口和上钳口，旋转单杆与连动机构连接，升降旋钮固定在支撑柱与连接柱的连接处，升降螺丝一端与升降旋钮连接，另一端与下钳口连接，上下钳口两端分别与左固定柱和右固定柱连接。本发明可固定不同的连接器，具有调节钳口高度功能，固定牢固，结构简单，易于操作。
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公开(公告)号：CN117747444B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410172052.0
申请日：2024-02-07
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： H01L21/48 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/58 , H01L21/50
摘要： 本发明涉及半导体功率器件封装技术领域，具体提供一种半导体功率器件的封装方法及封装结构，解决了现有封装散热效果差且在大电流在导通中的损耗大的问题，该方法包括：采用光刻刻蚀法在芯片硅衬底的下表面上刻蚀凹槽；在凹槽中淀积金属散热层；对芯片下表面做平坦化处理，使所述金属散热层的下表面和金属散热层的下表面共面；将芯片焊接在封装基板上，封装基板电极连接金属散热层。本发明提供一种能够承受封装加工的工装应力、封装后电流损耗小且散热效果好的半导体器件封装方法和封装结构。
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公开(公告)号：CN117810136B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410201555.6
申请日：2024-02-23
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/677
摘要： 本发明涉及芯片生产技术领域，具体提供了一种晶圆刻蚀装置及刻蚀方法，包括支撑底盘、晶圆运输机构、湿法刻蚀机构、水洗机构以及烘干机构，晶圆运输机构、湿法刻蚀机构、水洗机构以及烘干机构均设于支撑底盘上。本发明能够对横杆上的晶圆本体进行间歇性运输，从而使晶圆本体依次进行刻蚀和水洗，且仅通过一个第二电机的驱动，即可使风叶组件产生热风对晶圆本体进行烘干，同时带动转座转动，利用离心质量球的离心力自动使夹持片对晶圆本体进行夹持，晶圆本体边转动边烘干可以提高烘干面积，配合两个以上第二弹性件可以大大减少烘干死角，提高晶圆本体的受热均匀性，从而提高烘干效率。
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