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公开(公告)号：CN112152582B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010865511.5
申请日：2020-08-25
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置，所述离子源驱动电源的滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。
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公开(公告)号：CN112965003A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110138449.4
申请日：2021-02-01
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种电源老化负载电路，包括至少两个发热控制单元，采样电路，以及控制电路；所述发热控制单元包括调节电路和MOS管，各个发热控制单元的MOS管源极和漏极串联后连接在电源的正负极两端；其中，所述调节电路分别连接所述控制电路；所述采样电路用于对电源信号进行采样得到电源反馈信号输出至所述控制电路；所述控制电路用于接收输入的电源参考信号，将所述电源参考信号与所述电源反馈信号进行比对，输出控制信号至所述调节电路；所述调节电路用于根据所述控制信号调节所述MOS管的栅极电压以调节MOS管的内阻；该技术方案，通过把发热控制单元串联起来，增加了负载电压，提升了电源老化负载电路使用范围。
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公开(公告)号：CN112152582A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010865511.5
申请日：2020-08-25
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置，所述离子源驱动电源的滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。
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公开(公告)号：CN112965003B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202110138449.4
申请日：2021-02-01
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种电源老化负载电路，包括至少两个发热控制单元，采样电路，以及控制电路；所述发热控制单元包括调节电路和MOS管，各个发热控制单元的MOS管源极和漏极串联后连接在电源的正负极两端；其中，所述调节电路分别连接所述控制电路；所述采样电路用于对电源信号进行采样得到电源反馈信号输出至所述控制电路；所述控制电路用于接收输入的电源参考信号，将所述电源参考信号与所述电源反馈信号进行比对，输出控制信号至所述调节电路；所述调节电路用于根据所述控制信号调节所述MOS管的栅极电压以调节MOS管的内阻；该技术方案，通过把发热控制单元串联起来，增加了负载电压，提升了电源老化负载电路使用范围。
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公开(公告)号：CN111740566A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010762912.8
申请日：2020-07-31
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源的电源系统及离子源装置，该电源系统包括电源控制系统，驱动电源，至少两个调压电路；其中，电源控制系统连接驱动电源，驱动电源具有多个并联的电压输出通道，每个电压输出通道分别连接一个调压电路，每个调压电路连接至少一个霍尔离子源；电源控制系统控制驱动电源对输入电压进行变压，并将变压电压分别通过各个电压输出通道输入调压电路，各个调压电路分别对变压电压进行调压，并将调压电压输出至相应的霍尔离子源。离子源装置包括由多个霍尔离子源组成的离子源阵列，至少两个霍尔离子源通过上述的电源系统进行供电。该技术降低了电源系统的设备成本，避免了同一真空腔室的互相串扰问题，也降低了设置操作复杂性。
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公开(公告)号：CN217135391U
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202220076919.9
申请日：2022-01-12
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机；电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信模块；所述交流输入端通过电源线连接交流电源，并通过排线连接至功率模块和通信模块；所述直流输出端通过电源线连接至离子源负载，且通过排线连接至功率模块；其中，所述功率模块通过排线连接控制模块；该技术方案，减小整个离子源电源设备体积，安装简易方便，减少了布线，提高了离子源电源的抗干扰能力及稳定性；便于生产安装作业，提高了电源的工作效率。
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公开(公告)号：CN215815785U
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202122436817.1
申请日：2021-10-09
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： H01J37/248 , H01J37/08 , C23C14/22 , C23C16/509
摘要： 本申请涉及一种射频离子源供电结构、射频离子源及真空镀膜机，所述供电结构包括：包括集成电路板，集成电路板上集成有控制电路、直流驱动模块、功放电路以及匹配网络；其中，直流驱动模块通过功放电路连接至匹配网络；控制电路连接直流驱动模块；匹配网络的输出端连接至射频线圈；控制电路控制直流驱动模块输出直流电源至功放电路，功放电路将直流电源转换为射频电输出匹配网络，匹配网络将射频电加载到射频线圈上；该技术方案，在集成电路板上集成控制电路、直流驱动模块、功放电路以及匹配网络；去除了功放电路与匹配网络之间的同轴线，从而减小射频在传输过程中产生的电磁波对外部器件的干扰，提升了射频离子源的工作效果。
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公开(公告)号：CN212323979U
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202021575802.2
申请日：2020-07-31
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源的电源系统及离子源装置，该电源系统包括电源控制系统，驱动电源，至少两个调压电路；其中，电源控制系统连接驱动电源，驱动电源具有多个并联的电压输出通道，每个电压输出通道分别连接一个调压电路，每个调压电路连接至少一个霍尔离子源；电源控制系统控制驱动电源对输入电压进行变压，并将变压电压分别通过各个电压输出通道输入调压电路，各个调压电路分别对变压电压进行调压，并将调压电压输出至相应的霍尔离子源。离子源装置包括由多个霍尔离子源组成的离子源阵列，至少两个霍尔离子源通过上述的电源系统进行供电。该技术降低了电源系统的设备成本，避免了同一真空腔室的互相串扰问题，也降低了设置操作复杂性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN113572145A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110965333.8
申请日：2021-08-23
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 中山市北京理工大学研究院
摘要： 本申请公开了一种电源雷击保护电路和离子源，电源雷击保护电路包括：陶瓷气体放电管，一端接地；第一电阻，一端连接于火线，另外一端连接于所述陶瓷气体放电管；第二电阻，一端连接于零线，另外一端连接于所述陶瓷气体放电管。上述的电源雷击保护电路和离子源在接收到雷击产生的高压经电网导入后，经所述第一电阻和陶瓷气体放电管泄放所述火线的雷击浪涌电流，以及经所述第二电阻和陶瓷气体放电管泄放所述火线的雷击浪涌电流，与离子源的电源电路组成共摸、差摸雷击保护，解决了现有离子源电源，电网被雷击中后，高压浪涌电流冲击电源内部电路，造成内部电路烧毁、失火问题。
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公开(公告)号：CN111176356B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201911417952.2
申请日：2019-12-31
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及离子源技术领域，特别涉及一种离子源恒流控制装置、方法以及离子源系统。所述方法包括如下步骤：在离子源工作过程中，实时检测离子源电源的实时电流值；计算所述实时电流值与给定电流值的电流差值，根据所述电流差值计算流量调整值；输出所述流量调整值控制输入离子源的气体流量大小，使得离子源电源恒流输出。上述技术方案，通过对离子源电源的实时电流检测，并与给定电流值进行计算差值，结合负载的情况，对输入离子源的气体流量进行控制调整，消除电流偏差，使得实际输出的电流值达到用户要求的给定电流值，实现动态的平衡和恒流输出的目的。
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