一种高纯四氟化锗气体的充装设备及充装方法

    公开(公告)号:CN116518293A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310408611.9

    申请日:2023-04-17

    IPC分类号: F17C6/00 F17C13/00

    摘要: 本发明公开了一种高纯四氟化锗气体的充装设备及充装方法,由第一冷却台、第二冷却台、真空泵、第一贮存容器、第二贮存容器、低温冷冻液机组和常温冷冻液机组组成;所述第一贮存容器设置于第一冷却台上;所述第二贮存容器设置于第二冷却台上;第一贮存容器通过阀门b1与阀门b2、阀门b3、和真空泵连接;阀门b2与第二贮存容器连接;常温冷冻液机组通过阀门a4与阀门a1和第一冷却台连接;阀门a1与阀门a2和低温冷冻液机组连接;常温冷冻液机组通过阀门a5与阀门a3和第一冷却台连接;阀门a3与低温冷冻液机组和第二冷却台连连接;阀门a2与第二冷却台连连接。在充装过程中不存在高压缓冲罐、高压气瓶等危险源的存在,保证了充装过程中的安全性与简便性,也保证了气体的纯度。