一种平面溅射靶材的绑定方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118326345A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410349567.3

    申请日:2024-03-26

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明公开了一种平面溅射靶材的绑定方法,该方法包括:首先对待绑定的绑定面进行表面处理,分别涂抹高分子胶粘剂,再依次将金属铜网和靶坯放置于背板上,将靶材组件压合后再进行加热以加快固化,最后对固化冷却后的靶材组件进行机加工,得到高分子胶粘绑定的平面溅射靶材组件。采用上述方法绑定的平面溅射靶材焊缝处均匀、无空洞,焊合率>95%,导电性及散热性良好,焊接抗剪切强度≥15MPa,机加工边角料中高分子胶粘剂碎屑容易去除,旧靶材回收时对靶坯及背板不会造成破坏,特别对于贵金属溅射靶材,能够有效提高贵金属回收率、降低贵金属损耗。

    一种碗形靶材的机加工辅助工装及加工方法

    公开(公告)号:CN117620231A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311645317.6

    申请日:2023-12-04

    IPC分类号: B23B5/00 B23B31/103 B23B1/00

    摘要: 本发明公开了一种碗形靶材的机加工辅助工装及加工方法,该工装包括碗形弹性组件、内撑件及紧固螺栓;碗形弹性组件外侧面呈一定锥度,其大直径端中心区域下凹,内侧壁与外侧锥度相同,沿着其外边缘均分有数条沟槽;内撑件呈锥台状;紧固螺栓穿过碗形弹性组件中心过孔并紧固内撑件,使得碗形弹性组件向外扩张并夹持住碗形靶坯。加工方法包括:靶坯与工装装配,工装将碗形靶坯的内壁撑住;对已装配夹具的碗形靶坯进行装夹,外表面车削加工;靶坯反向装夹,内表面车削加工,对碗底内侧的弧形采用类双曲线的平滑过程方式进行加工。该方法不仅简单易操作、加工效率高、用料节约,而且加工的碗形靶材具有尺寸精度高、壁厚均匀、表面粗糙度小等优点。