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公开(公告)号：CN106756780A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710059099.6
申请日：2017-01-23
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
CPC分类号： C23C14/04 , C23C14/042 , C23C14/35 , C23C14/50
摘要： 本发明实施例提供一种用于溅射成膜工艺的掩膜板及溅射装置，涉及溅射镀膜技术领域，在溅射镀膜过程中，可减少粉尘飘落到待镀膜基板上。该掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体具有镂空区域，所述掩膜板本体的溅射面上设置有多个微凸起。用于溅射设备中。
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公开(公告)号：CN117741856A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410028986.7
申请日：2024-01-08
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种光波导及其制作方法、光波导器件和AR显示装置，光波导包括：导光基板；多个波导光栅，位于导光基板的第一侧；第一光栅，位于多个波导光栅之间；第二光栅，位于导光基板的第二侧，第二侧与第一侧相对；其中，第一光栅和/或者第二光栅被配置为反射第一偏振方向的偏振光，并通过第二偏振方向的偏振光。本申请实施例利用第一光栅和/或者第二光栅实现光波导内部对第一偏振方向的偏振光的全反射，采用折射率不受限制的普通材质的导光基板，可以在更大尺寸的导光基板上排布更多数量的光波导，可以一次性从作为母板的光波导器件中裁切得到更多光波导，降低光波导的制作成本，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN110911465A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911203541.3
申请日：2019-11-29
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明提供一种阵列基板及其制备方法和显示装置。该制备方法包括：先后在背板上形成第一导电结构、中间膜层和第二导电结构，在形成中间膜层之后且在形成第二导电结构之前还包括：在中间膜层上形成整面压印胶，纳米压印压印胶使其表层形成高度不同的纳米压印结构阵列；形成刻蚀阻挡层及其中第一过孔的图形；第一过孔与第一导电结构的位置相对应；以刻蚀阻挡层为掩膜板刻蚀形成贯穿压印胶和中间膜层的第二过孔，以使第一导电结构局部暴露；第二过孔包括开设在压印胶中的第一子过孔和开设在中间膜层中的纳米过孔阵列。该制备方法能够减少或避免出现过孔残留不良，从而确保第二导电结构与第一导电结构实现连接，进而确保阵列基板能正常点亮。
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公开(公告)号：CN107245693B
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201710432844.7
申请日：2017-06-09
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本申请公开了一种掩膜组件、真空镀膜装置及其使用方法，属于镀膜技术领域。所述掩膜组件包括：掩膜本体和遮挡部，掩膜本体具有镂空区域，遮挡部设置在掩膜本体上，且位于镂空区域的边缘，遮挡部能够与掩膜本体发生相对位移，以改变镂空区域的实际镂空面积，实际镂空面积等于镂空区域的原始面积减去遮挡部遮挡镂空区域的面积。本申请解决了叠加在一起的多个膜层中会存在部分膜层出现边缘断裂和脱落的情况的问题，有效的防止膜层的边缘出现断裂和脱落的情况，本申请用于真空镀膜。
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公开(公告)号：CN110911465B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN201911203541.3
申请日：2019-11-29
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明提供一种阵列基板及其制备方法和显示装置。该制备方法包括：先后在背板上形成第一导电结构、中间膜层和第二导电结构，在形成中间膜层之后且在形成第二导电结构之前还包括：在中间膜层上形成整面压印胶，纳米压印压印胶使其表层形成高度不同的纳米压印结构阵列；形成刻蚀阻挡层及其中第一过孔的图形；第一过孔与第一导电结构的位置相对应；以刻蚀阻挡层为掩膜板刻蚀形成贯穿压印胶和中间膜层的第二过孔，以使第一导电结构局部暴露；第二过孔包括开设在压印胶中的第一子过孔和开设在中间膜层中的纳米过孔阵列。该制备方法能够减少或避免出现过孔残留不良，从而确保第二导电结构与第一导电结构实现连接，进而确保阵列基板能正常点亮。
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公开(公告)号：CN107245693A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201710432844.7
申请日：2017-06-09
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/22 , C23C14/35
摘要： 本申请公开了一种掩膜组件、真空镀膜装置及其使用方法，属于镀膜技术领域。所述掩膜组件包括：掩膜本体和遮挡部，掩膜本体具有镂空区域，遮挡部设置在掩膜本体上，且位于镂空区域的边缘，遮挡部能够与掩膜本体发生相对位移，以改变镂空区域的实际镂空面积，实际镂空面积等于镂空区域的原始面积减去遮挡部遮挡镂空区域的面积。本申请解决了叠加在一起的多个膜层中会存在部分膜层出现边缘断裂和脱落的情况的问题，有效的防止膜层的边缘出现断裂和脱落的情况，本申请用于真空镀膜。
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公开(公告)号：CN114326246A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111581449.8
申请日：2021-12-22
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号： G02F1/167 , G02F1/1675 , G02F1/1679 , G02F1/1677
摘要： 本发明公开一种反射式显示面板、制作方法以及显示装置。其中一实施例的反射式显示面板包括：第一基板、第二基板、位于所述第一基板和所述第二基板之间的挡墙结构、设置在所述挡墙结构形成的开口区域中的子像素；所述挡墙结构包括：间断设置在所述第一基板靠近所述第二基板一侧表面上的第一阻挡部，所述第一阻挡部在所述第一基板上形成第一投影；间断设置在所述第二基板靠近所述第二基板一侧表面上的第二阻挡部，所述第二阻挡部在所述第二基板上形成第二投影；所述第一投影和所述第二投影不重叠，且共同形成围绕在所述子像素在所述第一基板上的第三投影外侧的连续的环形投影。本发明实施例的反射式显示面板能够有效降低墨水材料溢出风险。
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