阵列基板及其制作方法、显示装置

    公开(公告)号:CN108536324B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201710123374.6

    申请日:2017-03-03

    IPC分类号: G06F3/041 G06F3/044

    摘要: 本发明提供一种阵列基板,包括:衬底;设置在所述衬底上的第一信号线和第二信号线,所述第一信号线与所述第二信号线同层设置且相互间隔;绝缘层,所述绝缘层覆盖所述第一信号线和所述第二信号线;所述绝缘层上形成有贯穿该绝缘层的槽,所述槽延伸至所述第一信号线和第二信号线所在层的底面而将所述第一信号线和所述第二信号线间隔开,使得所述第一信号线和所述第二信号线之间绝缘。相应地,本发明还提供一种阵列基板的制作方法、显示装置。本发明能够减少方格不良。

    一种阵列基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN106876387B

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201710086972.0

    申请日:2017-02-17

    IPC分类号: H01L27/02 H01L27/12 H01L21/77

    摘要: 本发明公开了一种阵列基板及其制造方法,属于半导体技术领域。该制造方法包括提供一衬底基板;在衬底基板上制作栅极金属层,栅极金属层包括间隔设置的栅线和公共电极信号线;在栅极金属层上形成栅极绝缘层、有源层、源漏极层、钝化层和保护图形;在钝化层和栅极绝缘层上开设用于连接公共电极信号线的过孔。通过在栅线上方形成保护图形,使得在刻蚀过程中,需要刻透钝化层、保护图形和栅极绝缘层才会使栅线露出,而公共电极信号线上方没有设置保护图形,在刻蚀过程中,只需刻透钝化层和栅极绝缘层就会将公共电极信号线露出,因此在形成过孔的过程中可以保证在公共电极信号线露出时,栅线不露出,从而避免栅线与公共电极信号线出现短接。