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公开(公告)号：CN116053106A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211315862.4
申请日：2022-10-26
Applicant: 住友重机械离子科技株式会社
IPC: H01J37/317 , H01J37/304 , H01L21/265
Abstract: 本发明的课题在于提高离子注入工序中的生产率。离子注入方法包括如下步骤：根据第1扫描信号生成第1扫描射束；在多个测定位置，利用射束测定装置测定第1扫描射束的射束电流；根据经测定的射束电流的时间波形和确定为第1扫描信号的扫描指示值的时间波形计算射束电流矩阵；通过对经测定的射束电流进行时间积分，计算第1扫描射束的第1射束电流密度分布；根据第1射束电流密度分布，校正射束电流矩阵的各成分的值；及根据经校正的射束电流矩阵，生成用于实现作为目标的射束电流密度分布的第2扫描信号。
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