光声装置和显示控制方法

    公开(公告)号:CN106852684A

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:CN201611126045.9

    申请日:2016-12-08

    Abstract: 公开了光声装置和显示控制方法。光声装置包括:被配置为用光照射被检体的光照射单元,被配置为将从被检体生成的声波转换成电信号的接收单元,被配置为利用电信号获取图像数据的处理单元,以及显示控制单元。处理单元利用电信号通过第一图像生成方法获取第一图像数据,并且利用电信号通过与第一图像生成方法不同的第二图像生成方法获取第二图像数据。显示控制单元将其中第一图像数据与第二图像数据之间的差异图像数据具有预定数值范围内的图像值的区域设置为差异区域,并且使得其中差异区域与其他区域彼此能区分的图像数据在显示单元上显示。

    控制设备、光刻装置、测量装置、处理装置、平坦化装置以及物品制造方法

    公开(公告)号:CN111183397B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN201880064741.2

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 一种反馈控制设备,其将与受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差相关的信息作为输入并输出用于受控对象的操纵变量。该反馈控制设备具有:第一控制单元,其接受关于控制偏差的信息作为输入,并输出用于该受控对象的操纵变量;第二控制单元,其以关于控制偏差的信息接受为输入,并包括学习控制单元,对于该学习控制单元,由机器学习确定用于输出用于受控对象的操纵变量的参数;以及加法器,其用于将从第一控制单元输出的第一操纵变量和从第二控制单元输出的第二操纵变量相加;来自加法器的操纵变量被输出到受控对象,第二控制单元具有用于限制第二操纵变量的限制器。

    控制设备、光刻装置、测量装置、处理装置、平坦化装置以及物品制造方法

    公开(公告)号:CN111183397A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201880064741.2

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 一种反馈控制设备,其将与受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差相关的信息作为输入并输出用于受控对象的操纵变量。该反馈控制设备具有:第一控制单元,其接受关于控制偏差的信息作为输入,并输出用于该受控对象的操纵变量;第二控制单元,其包括学习控制单元,对于该学习控制单元,以关于控制偏差的信息接受为输入,由机器学习确定用于输出用于受控对象的操纵变量的参数;以及加法器,其用于将从第一控制单元输出的第一操纵变量和从第二控制单元输出的第二操纵变量相加;来自加法器的操纵变量被输出到受控对象,第二控制单元具有用于限制从第二控制单元输出的第二操纵变量的限制器。

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