-
公开(公告)号：CN112068397A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010527360.2
申请日：2020-06-11
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及模拟方法和设备、存储介质、成膜方法、固化产品制造法。一种模拟方法，用于在使布置在第一构件上的可固化成分的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间空间中形成可固化成分的膜的处理中预测可固化成分的行为，其中，对于可固化成分的多个液滴中的每一个来说，根据第一构件与第二构件之间距离的变化，以使轮廓内部区域面积与从液滴体积和第一构件与第二构件之间距离获得的液滴面积一致的方式来获得从液滴代表点到液滴轮廓上的点的距离。
-
公开(公告)号：CN112068398A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010528111.5
申请日：2020-06-11
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法。提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法。所述方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112068398B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010528111.5
申请日：2020-06-11
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法。提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法。所述方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。
-
公开(公告)号：CN113366613A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011703.8
申请日：2020-01-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G06F30/10
Abstract: 公开了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件彼此接触并在第一构件上形成可固化组合物的膜的过程中可固化组合物的行为的模拟方法。该方法包括定义由多个计算元素形成的计算网格，使得可固化组合物的多个液滴落在一个计算元素内，以及根据与每个计算元素中的可固化组合物的状态对应的模型来获得每个计算元素中的可固化组合物的行为。
-
公开(公告)号：CN113366613B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202080011703.8
申请日：2020-01-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G06F30/10
Abstract: 公开了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件彼此接触并在第一构件上形成可固化组合物的膜的过程中可固化组合物的行为的模拟方法。该方法包括定义由多个计算元素形成的计算网格，使得可固化组合物的多个液滴落在一个计算元素内，以及根据与每个计算元素中的可固化组合物的状态对应的模型来获得每个计算元素中的可固化组合物的行为。
-
公开(公告)号：CN111183397B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN201880064741.2
申请日：2018-09-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00 , G05B11/36 , G05B13/02 , H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 一种反馈控制设备，其将与受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差相关的信息作为输入并输出用于受控对象的操纵变量。该反馈控制设备具有：第一控制单元，其接受关于控制偏差的信息作为输入，并输出用于该受控对象的操纵变量；第二控制单元，其以关于控制偏差的信息接受为输入，并包括学习控制单元，对于该学习控制单元，由机器学习确定用于输出用于受控对象的操纵变量的参数；以及加法器，其用于将从第一控制单元输出的第一操纵变量和从第二控制单元输出的第二操纵变量相加；来自加法器的操纵变量被输出到受控对象，第二控制单元具有用于限制第二操纵变量的限制器。
-
公开(公告)号：CN111183397A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201880064741.2
申请日：2018-09-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00 , G05B11/36 , G05B13/02 , H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 一种反馈控制设备，其将与受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差相关的信息作为输入并输出用于受控对象的操纵变量。该反馈控制设备具有：第一控制单元，其接受关于控制偏差的信息作为输入，并输出用于该受控对象的操纵变量；第二控制单元，其包括学习控制单元，对于该学习控制单元，以关于控制偏差的信息接受为输入，由机器学习确定用于输出用于受控对象的操纵变量的参数；以及加法器，其用于将从第一控制单元输出的第一操纵变量和从第二控制单元输出的第二操纵变量相加；来自加法器的操纵变量被输出到受控对象，第二控制单元具有用于限制从第二控制单元输出的第二操纵变量的限制器。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.018 seconds)
