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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106165064A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580017358.8
申请日：2015-04-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C43/58 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/3222 , B29C2043/3652 , B29C2043/5866 , G03F7/0002
Abstract: 提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。
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公开(公告)号：CN105093822A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510242920.9
申请日：2015-05-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027 , B29C43/36 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/02 , B29L2031/772 , B29C43/36 , H01L21/0337
Abstract: 本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括：基板保持部，其被构造成保持所述基板，其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
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公开(公告)号：CN118190802A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311686949.7
申请日：2023-12-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01N21/01 , G01N21/892 , G01B11/00
Abstract: 本发明涉及具备2个位置检测器的装置以及物品制造方法。装置具备：第1位置检测器，用于检测第1构件的第1检测对象的位置；以及第2位置检测器，用于检测与所述第1构件对置配置的第2构件的第2检测对象的位置。所述第1位置检测器能够包括第1图像传感器和在所述第1图像传感器的摄像面形成所述第1检测对象的像的第1光学系统。所述第2位置检测器能够包括第2图像传感器和在所述第2图像传感器的摄像面形成所述第2检测对象的像的第2光学系统。所述第1位置检测器和所述第2位置检测器能够构成为能利用所述第2图像传感器经由所述第1光学系统和所述第2光学系统拍摄所述第1图像传感器。
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