公开(公告)号：CN105706214A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201380080755.0

申请日：2013-11-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田边正幸 ,  吉田节男 ,  酒井启太 ,  中野一志

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C33/3835 ,  B29C33/3842 ,  B29C43/021 ,  B29C2043/025 ,  B29C2059/023 ,  B29K2995/0027 ,  G05D21/02

Abstract: 在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。

公开(公告)号：CN105706214B

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：CN201380080755.0

申请日：2013-11-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田边正幸 ,  吉田节男 ,  酒井启太 ,  中野一志

IPC: H01L21/027

Abstract: 在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。