公开(公告)号：CN105706214A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201380080755.0

申请日：2013-11-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田边正幸 ,  吉田节男 ,  酒井启太 ,  中野一志

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C33/3835 ,  B29C33/3842 ,  B29C43/021 ,  B29C2043/025 ,  B29C2059/023 ,  B29K2995/0027 ,  G05D21/02

Abstract: 在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。

公开(公告)号：CN109952353A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201780070554.0

申请日：2017-11-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田边正幸 ,  伊藤俊树

IPC: C09D201/02 ,  B29C59/02 ,  B32B27/16 ,  C09D5/00 ,  C09D7/63 ,  H01L21/027

Abstract: 使基板与光固化性组合物粘附的粘合层形成用组合物，其至少含有：固化性基材(A)，其含有至少一个与基底结合的官能团和至少一个自由基聚合性官能团；阻聚剂(B)；和有机溶剂(C)，基于100重量份的固化性基材(A)，该粘合层形成用组合物具有0.1重量份-10重量份的阻聚剂(B)含量。

公开(公告)号：CN105706214B

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：CN201380080755.0

申请日：2013-11-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田边正幸 ,  吉田节男 ,  酒井启太 ,  中野一志

IPC: H01L21/027

Abstract: 在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。

公开(公告)号：CN108885975B

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN201780021961.2

申请日：2017-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  刘卫军 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 ,  大谷智教 ,  田边正幸

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm2的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。

公开(公告)号：CN108885975A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021961.2

申请日：2017-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  刘卫军 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 ,  大谷智教 ,  田边正幸

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  C09D133/06 ,  C09D135/02

Abstract: 一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm2的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。